[发明专利]一种LED晶片自动分选机用硅片工作台

说明书

本发明公开了一种LED晶片自动分选机用硅片工作台，包括X轴工作台，X轴工作台上设置有X轴导轨，X轴导轨设置有可沿X轴导轨滑动X轴导轨滑块；还包括Y轴工作台，Y轴工作台设置在X轴工作台的上方，Y轴工作台可与X轴工作台相对滑动，Y轴工作台固定连接有导轨滑块，通过X轴导轨滑块将Y轴工作台与X轴工作台连接。

技术领域

本发明涉及一种LED晶片自动分选机，具体的说，涉及一种LED晶片自动分选机用硅片工作台，属于LED晶片制造技术领域。

背景技术

传统的硅片工作台，由于其结构的限制，滑移精度不高，动作执行缓慢，可靠性得不到非常有效的控制，传统的工作台使用原玻璃光栅的的不方便安装及调整的弊病，调试工序的调试效率底下 ；而且玻璃光栅不方便安装，安装时必须控制安装间隙。

发明内容

本发明要解决的技术问题是针对上述情况，提供一种LED晶片自动分选机用硅片工作台，该硅片工作台的滑移精度高，动作执行迅速，可靠性得到非常有效的控制；满足了晶片分选的速度要求，使顶端工作台沿X和Y方向滑移的精度0.005mm以内。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案为：

一种硅片工作台，包括X轴工作台，其特征在于：X轴工作台上设有 X轴导轨，X轴导轨设置有可沿X轴导轨滑动的X轴导轨滑块；

还包括Y轴工作台，Y轴工作台设置在X轴工作台的上方，Y轴工作台可与X轴工作台相对滑动，Y轴工作台固定连接有导轨滑块，通过X轴导轨滑块将Y轴工作台与X轴工作台连接；

Y轴工作台上设置有 Y轴导轨，Y轴导轨紧固在Y轴工作台上，通过导轨滑块将顶端工作台与Y轴工作台连接。

X轴工作台安装有第二机械光纤标尺，Y轴工作台安装有第一机械光纤标尺。

X轴工作台安装有第二机械光纤标尺，Y轴工作台安装有第一机械光纤标尺上均安装光纤标尺编码器。

永磁体紧固X轴工作台上， X线圈固定Y轴工作台，永磁体紧固Y轴工作台上，Y线圈固定于顶端工作台上。

本发明采用上述技术方案，与现有技术相比，具有以下优点：本结构使用金属光栅尺,在相同精度下，金属光栅有两大优点：由于光栅尺自带背胶，利用贴尺工具能够实现快速安装避免了使用原玻璃光栅的的不方便安装及调整的弊病，极大限度的提高调试工序的调试效率 ；金属光栅读数头与光栅尺采用接触式，方便安装。

顶端工作台沿X和Y方向滑移的精度0.005mm以内，由于采用直线电机，反应速度在100毫秒以内，可靠性得到非常有效的控制，满足了晶片分选的速度要求。

下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。

附图说明

附图1是本发明实施例中LED晶片自动分选机用硅片工作台的结构示意图；

附图2是附图1中A-A向剖视图；

附图3是附图1中B-B向剖视图；

图中，

1-X轴工作台，2-X轴导轨滑块，3-Y轴工作台，4-第一机械光纤标尺，4’-第二机械光纤标尺，5-Y轴导轨，6-导轨滑块，7-X轴导轨，8-X线圈，9-顶端工作台，10-光纤标尺编码器，11-永磁体，12-Y线圈。

具体实施方式

实施例，如附图1、附图2和附图3所示，一种LED晶片自动分选机用硅片工作台，包括X轴工作台1，X轴工作台1上设置有 X轴导轨7，X轴导轨7设置有可沿X轴导轨7滑动的X轴导轨滑块2。