[发明专利]平晶旋转承载装置在审
申请号: | 201910372066.6 | 申请日: | 2019-05-06 |
公开(公告)号: | CN110108229A | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 韩森;王全召;王芳;卢庆杰;吴鹏 | 申请(专利权)人: | 苏州慧利仪器有限责任公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉;刘国华 |
地址: | 215164 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 旋转盘 第二位置 第一位置 固定盘 限位件 阻挡件 旋转承载装置 状态位置 侧表面 平晶 位件 圆周方向间隔 承载盘 可转动 承载 | ||
1.一种平晶旋转承载装置,安装在具有参考平晶承载装置的激光干涉检测设备上并且与所述参考平晶承载装置同光轴设置,用于承载待测平晶并带动该待测平晶绕中心轴线进行转动,其特征在于,包括:
固定盘,用于固定安装;
旋转承载部,包含可转动地设置在所述固定盘上并且能够在第一位置和第二位置之间进行切换的旋转盘以及设置在该旋转盘上用于放置所述待测平晶的承载盘;以及
限定部,用于在所述旋转盘切换至所述第一位置时将所述旋转盘限定在所述第一位置以及在所述旋转盘切换至所述第二位置时将所述旋转盘限定在所述第二位置,
其中,所述限定部包含设置在所述旋转盘的侧表面的一个限位件以及分别位于该限位件的两侧并且沿所述固定盘的圆周方向间隔设置在该固定盘的侧表面的两个阻挡件,所述阻挡件的边缘与所述限位件相接触,用于阻挡所述旋转盘的转动,
所述第一位置作为第一限定状态位置,是所述限位件与一个所述阻挡件的边缘相接触时所述限位件所处的位置,
所述第二位置作为第二限定状态位置,是所述限位件与另一个所述阻挡件的边缘相接触时所述限位件所处的位置。
2.根据权利要求1所述的平晶旋转承载装置,其特征在于:
其中,所述限位件的中心与所述旋转盘的圆心连线分别在所述第一限位状态位置和所述第二限位状态位置时所成的夹角为90°。
3.根据权利要求1所述的平晶旋转承载装置,其特征在于:
其中,所述限位件含有由能够被磁力吸引的金属材料制成的限位块,
所述阻挡件含有阻挡块以及嵌设在该阻挡块朝向所述限位块的侧部的永磁体。
4.根据权利要求3所述的平晶旋转承载装置,其特征在于:
其中,所述限位块上设有分离单元,用于使所述限位块与所述阻挡块相分离。
5.根据权利要求4所述的平晶旋转承载装置,其特征在于:
其中,所述分离单元由偏心轮、偏心轮转轴以及扳手构成,
所述限位块设有所述偏心轮的形状相匹配的偏心轮安装槽以及与该偏心轮安装槽相连通的偏心轮转轴安装孔,
所述偏心轮设置在所述偏心轮安装槽内,
所述偏心轮转轴的一端穿过所述偏心轮转轴安装孔并与所述偏心轮相连接,另一端安装有所述扳手。
6.根据权利要求1所述的平晶旋转承载装置,其特征在于,还包括:
中心校准部,设置在所述承载盘上,用于对所述待测平晶的中心进行校准。
7.根据权利要求6所述的平晶旋转承载装置,其特征在于:
其中,所述中心校准部包含环形框、两根准线以及两个分别用于对所述两根准线进行紧固并沿所述环形框的圆周方向调节的紧固调节单元,
所述环形框设有两个具有沿该环形框的圆周方向间隔90°的准线安装孔以及分别与两个所述准线安装孔对向设置并且沿所述环形框的圆周方向延伸的两个准线安装槽,
所述两个紧固调节单元分别与所述两个准线安装槽相对应并且安装在所述环形框上,
所述准线的一端固定设置在所述准线安装孔内,另一端穿过对应的所述准线安装槽并与对应的所述紧固调节单元相连接。
8.根据权利要求7所述的平晶旋转承载装置,其特征在于:
其中,所述紧固调节单元含有紧固调节支座以及安装在该紧固调节支座上的紧固件和调节组件,
所述紧固调节支座设有与所述紧固件的形状相匹配的紧固件安装槽以及与该紧固件安装槽相连通并且与所述准线安装槽的形状相匹配的准线调节槽,
所述紧固件安装在所述紧固件安装槽内,与所述调节组件相连接,在所述调节组件的驱动下沿所述环形框的切向进行移动,
所述准线的所述另一端依次穿过所述准线安装槽、所述准线调节槽后与所述紧固件相连接。
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