[发明专利]平晶旋转承载装置

说明书

本发明提供了一种平晶旋转承载装置，包括：固定盘；旋转承载部，包含可转动地设置在固定盘上并且能够在第一位置和第二位置之间进行切换的旋转盘以及设置在该旋转盘上的承载盘；以及限定部，用于在旋转盘切换至第一位置时将旋转盘限定在第一位置以及在旋转盘切换至第二位置时将旋转盘限定在第二位置，其中，限定部包含设置在旋转盘的侧表面的一个限位件以及分别位于该限位件的两侧并且沿固定盘的圆周方向间隔设置在该固定盘的侧表面的两个阻挡件，第一位置作为第一限定状态位置，是限位件与一个阻挡件的边缘相接触时限位件所处的位置，第二位置作为第二限定状态位置，是限位件与另一个阻挡件的边缘相接触时限位件所处的位置。

技术领域

本发明属于激光干涉检测设备技术领域，具体涉及一种平晶旋转承载装置。

背景技术

激光干涉检测设备也称为激光干涉仪，是利用光干涉技术对例如平晶等光学零件的形貌信息进行测量的设备。在使用三平面互检法对平晶的工作面进行绝对面形测量时，被测平晶需要旋转一定角度与参考镜进行相对测量，旋转角度偏差和旋转中心的偏移会直接影响测量结果。因此，待测平晶的高精度旋转是三表面互检绝对测量的关键。

现有干涉测量技术中，通常将待测平晶和用于承载该待测平晶的平晶承载装置一起放在旋转平台上，通过控制旋转平台的旋转来同时带动待测平晶及其平晶承载装置进行转动。但是，此类旋转平台不仅结构复杂，操作麻烦，效率低；而且，难以保证平晶的旋转精度，导致检测精度低、不准确。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种平晶旋转承载装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

本发明提供了一种平晶旋转承载装置，安装在具有参考平晶承载装置的激光干涉检测设备上并且与参考平晶承载装置同光轴设置，用于承载待测平晶并带动该待测平晶绕中心轴线进行转动，其特征在于，包括：固定盘，用于固定安装；旋转承载部，包含可转动地设置在固定盘上并且能够在第一位置和第二位置之间进行切换的旋转盘以及设置在该旋转盘上用于放置待测平晶的承载盘；以及限定部，用于在旋转盘切换至第一位置时将旋转盘限定在第一位置以及在旋转盘切换至第二位置时将旋转盘限定在第二位置，其中，限定部包含设置在旋转盘的侧表面的一个限位件以及分别位于该限位件的两侧并且沿固定盘的圆周方向间隔设置在该固定盘的侧表面的两个阻挡件，阻挡件的边缘与限位件相接触，用于阻挡旋转盘的转动，第一位置作为第一限定状态位置，是限位件与一个阻挡件的边缘相接触时限位件所处的位置，第二位置作为第二限定状态位置，是限位件与另一个阻挡件的边缘相接触时限位件所处的位置。

本发明提供的平晶旋转承载装置，还可以具有这样的特征：其中，限位件的中心与旋转盘的圆心连线分别在第一限位状态位置和第二限位状态位置时所成的夹角为90°。

本发明提供的平晶旋转承载装置，还可以具有这样的特征：其中，限位件含有由能够被磁力吸引的金属材料制成的限位块，阻挡件含有阻挡块以及嵌设在该阻挡块朝向限位块的侧部的永磁体。

本发明提供的平晶旋转承载装置，还可以具有这样的特征：其中，限位块上设有分离单元，用于使限位块与阻挡块相分离。

本发明提供的平晶旋转承载装置，还可以具有这样的特征：其中，分离单元由偏心轮、偏心轮转轴以及扳手构成，限位块设有偏心轮的形状相匹配的偏心轮安装槽以及与该偏心轮安装槽相连通的偏心轮转轴安装孔，偏心轮设置在偏心轮安装槽内，偏心轮转轴的一端穿过偏心轮转轴安装孔并与偏心轮相连接，另一端安装有扳手。

本发明提供的平晶旋转承载装置，还可以具有这样的特征：还包括：中心校准部，设置在承载盘上，用于对待测平晶的中心进行校准。