[发明专利]一种碱扩散法制备电沉积级别氧化物薄膜的方法

权利要求书

1.一种碱扩散法制备电沉积级别氧化物薄膜的方法，其特征在于，包括两个步骤：

第一步是在基底表面制备一层碱膜:

1）配制氢氧化钠溶液，将清洗除油后的基体浸入氢氧化钠溶液中，让氢氧化钠扩散到基体上，取出后烘干得到一层碱膜；

第二步是氧化物薄膜的自生长：

2）将覆盖了碱膜的基体浸入前驱液中自生长氧化物薄膜，取出烘干，得到与基体结合的氧化物薄膜；

所述的氢氧化钠溶液的溶剂采用水，或者醇水混合液；

所述的前驱液包括硅酸烷基酯、钛酸烷基酯、锆酸烷基酯中的一种前驱液或者多种混合前驱液；所述的氧化物薄膜包括SiO₂、TiO₂、ZrO₂膜中的一种或者混合的膜；

所述步骤2）中前驱液的配制：乙醇与去离子水以体积比1:1混合均匀，调节pH为3~4.5，再加入体积分数1%~10%的硅酸烷基酯、钛酸烷基酯、锆酸烷基酯中的一种或者多种；

所述步骤2）中前驱液的配制：调节pH值所用的酸为醋酸，硫酸，硝酸中的一种或者多种；

步骤2）中所述的氧化物薄膜自生长的时间为1~5分钟；

所述的基底为不宜电沉积的金属基底，或者为不导电的基底。