[发明专利]一种外延片编码读取装置及外延片编码读取方法在审

专利信息
申请号: 201910375270.3 申请日: 2019-05-07
公开(公告)号: CN110135209A 公开(公告)日: 2019-08-16
发明(设计)人: 林生财;张成安;魏纯;刘熠 申请(专利权)人: 深圳市矽电半导体设备有限公司
主分类号: G06K7/10 分类号: G06K7/10
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 运料 外延片 读取 编码读取装置 晶片移动 校正部 晶片 第一连接部 编码读取 滑动连接 晶片位置 一体结构
【权利要求书】:

1.一种外延片编码读取装置,其特征在于:所述外延片编码读取装置(100)包括,

机体(10);

第一载料部(31),连接于机体(10),用于放置需要读取编码的晶片(40);

校正部(32),连接于机体(10),用于对晶片(40)位置进行调节;

扫码部(33),连接于机体(10),用于读取晶片(40)上的编码;

第二载料部(34),连接于机体(10),用于放置读取编码后的晶片(40);

第一运料部(21),连接于机体(10),用于将第一载料部(31)的晶片(40)移动至校正部(32);

第二运料部(22),连接于机体(10),用于将位于校正部(32)的晶片(40)移动至扫码部(33);

第三运料部(23),连接于机体(10),用于将位于扫码部(33)的晶片(40)移动至第二载料部(34);

所述第一运料部(21)和第二运料部(22)为一体结构并通过第一连接部(24)滑动连接于机体(10)。

2.根据权利要求1所述的外延片编码读取装置,其特征在于:

所述第一载料部(31)、校正部(32)和扫码部(33)依次沿直线a分布。

3.根据权利要求1所述的外延片编码读取装置,其特征在于:

所述第一载料部(31)、校正部(32)、扫码部(33)和第二载料部(34)依次沿直线a分布。

4.根据权利要求3所述的外延片编码读取装置,其特征在于:所述第三运料部(23)通过第一连接部(24)滑动连接于机体(10)。

5.一种外延片编码读取方法,其特征在于:

S1:第一运料部(21)将晶片(40)从第一载料部(31)移动至校正部(32),所述校正部(32)对晶片(40)的标码区(41)位置进行调节,以满足标码读取要求;

S2:第二运料部(22)将校正部(32)调节好标码区(41)位置的晶片(40)移动至扫码部(33),扫码部(33)对晶片(40)上的标码区(41)进行读取,获得晶片(40)的标码信息;

S3:第三运料部(23)将扫码部(33)读取了标码信息的晶片(40)移动至第二载料部(34)。

6.根据权利要求5所述的外延片编码读取方法,其特征在于:

第二载料部(34)设置有料盒编码,采用扫描枪将料盒编码读取,从而使料盒编码与料盒中晶片(40)的标码对应。

7.根据权利要求5所述的外延片编码读取方法,其特征在于:所述第一运料部(21)和第二运料部(22)同步运动。

8.根据权利要求5所述的外延片编码读取方法,其特征在于:

所述第一载料部(31)、校正部(32)、扫码部(33)和第二载料部(34)依次沿第一方向a布置。

9.根据权利要求8所述的外延片编码读取方法,其特征在于:所述第一运料部(21)、第二运料部(22)和第三运料部(23)同步运动。

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