[发明专利]一种外延片编码读取装置及外延片编码读取方法

说明书

本发明公开了一种外延片编码读取装置。所述外延片编码读取装置包括，机体；第一载料部，连接于机体，用于放置需要读取编码的晶片；校正部，连接于机体，用于对晶片位置进行调节；扫码部，连接于机体，用于读取晶片上的编码；第二载料部，连接于机体，用于放置读取编码后的晶片；第一运料部，连接于机体，用于将第一载料部的晶片移动至校正部；第二运料部，连接于机体，用于将位于校正部的晶片移动至扫码部；第三运料部，连接于机体，用于将位于扫码部的晶片移动至第二载料部；所述第一运料部和第二运料部为一体结构并通过第一连接部滑动连接于机体。

技术领域

本发明涉及一种外延片编码读取装置及外延片编码读取方法。

背景技术

对于外延片设置有切边，并设置有字母和数字的组合以区别不同的晶片，外延片加工厂商需要将所述的字母和数字组合读出，以便于后续跟踪外延片的生产工艺。所述字母和数字的组合为外延片标志的一种方式，有些外延片采用烧蚀不同距离和深度的坑槽以区别，为了读取和识别上述外延片标志需要特殊的设备。

发明内容

为解决晶片上编码读取的问题，本发明提出一种外延片编码读取装置及外延片编码读取方法。

所述外延片编码读取装置包括，

机体；

第一载料部，连接于机体，用于放置需要读取编码的晶片；

校正部，连接于机体，用于对晶片位置进行调节；

扫码部，连接于机体，用于读取晶片上的编码；

第二载料部，连接于机体，用于放置读取编码后的晶片；

第一运料部，连接于机体，用于将第一载料部的晶片移动至校正部；

第二运料部，连接于机体，用于将位于校正部的晶片移动至扫码部；

第三运料部，连接于机体，用于将位于扫码部的晶片移动至第二载料部；

所述第一运料部和第二运料部为一体结构并通过第一连接部滑动连接于机体。

进一步的，所述第一载料部、校正部和扫码部依次沿直线a分布。

进一步的，所述第一载料部、校正部、扫码部和第二载料部依次沿直线a分布。

进一步的，所述第三运料部通过第一连接部滑动连接于机体。

一种外延片编码读取方法，

S1：第一运料部将晶片从第一载料部移动至校正部，所述校正部对晶片的标码区位置进行调节，以满足标码读取要求；

S2：第二运料部将校正部调节好标码区位置的晶片移动至扫码部，扫码部对晶片上的标码区进行读取，获得晶片的标码信息；

S3：第三运料部将扫码部读取了标码信息的晶片移动至第二载料部。

进一步的，第二载料部设置有料盒编码，采用扫描枪将料盒编码读取，从而使料盒编码与料盒中晶片的标码对应。

进一步的，所述第一运料部和第二运料部同步运动。

进一步的，所述第一载料部、校正部、扫码部和第二载料部依次沿第一方向a布置。

进一步的，所述第一运料部、第二运料部和第三运料部同步运动。

本发明的有益效果在于：能够完成对晶片上编码的自动读取，使用方便安全可靠。

附图说明

图1为外延片编码读取装置示意图；

图2为晶片示意图；