[发明专利]蒸镀用掩膜板装置及其操作方法

说明书

本发明公开一种蒸镀用掩膜板装置及其操作方法，所述蒸镀用掩膜板装置包括一第一贴附板、一掩膜板及一第二贴附板，其中所述第一贴附板配置用以贴附在所述掩膜板的一下表面，所述掩膜板的一上表面配置用以贴附在所述基板的一下表面，所述第二贴附板配置用以贴附在所述基板的一上表面，并用以对所述基板下方的所述掩膜板提供一吸引力，以将所述掩膜板保持固定在所述基板上。

技术领域

本发明是有关于一种掩膜板及其操作方法，特别是有关于一种蒸镀用掩膜板装置及其操作方法。

背景技术

有机电致发光器件(OLED)具有自发光、全固态、高对比度及可弯曲的优点，是目前最具发展前景的新型显示器件。以面板尺寸来划分OLED可分为大尺寸面板及中小尺寸面板两类，所述两类在技术方向上有所差异。其中，大尺寸面板通过白光OLED加彩膜(CF)过滤的方式实现全彩显示，而在蒸镀白光OLED的制程中使用开放掩膜板(open mask)来定义有效显示区(AA区)的边界即可；所述开放掩膜板包括框架(Frame)及掩膜片(Mask sheet)，随着大尺寸面板的OLED的发展，开放掩膜板的应用也越来越广泛。

然而，目前使用的开放掩膜板包括框架及掩膜片，将制作好的掩膜片张网以及焊接到框架上，当使用过久要修改所述框架的时候，需要将掩膜片撕掉，重新打磨所述框架，再将新作的掩膜片重新焊接到框架上，当打磨的次数过多，所述框架会变薄而无法使用

另外，所述开放掩膜板在量产线使用时，会定期更换掩膜片，每次更换都要重新撕掉掩膜片，打磨所述框架，再重新张网以及焊接所述掩膜片，多次的修改后，所述框架会变薄而报废，进而增加成本，而且打磨、张网、焊接以及清洗都要浪费很多的人力、物力及影响效率。

因此，有必要提供改良的一种测试元件组及其操作方法，以解决上述现有技术所存在的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀用掩膜板装置，利用设置第一贴附板、掩膜板及第二贴附板，能够移除框架的配置，降低掩膜板的建构的成本。

为达成本发明的前述目的，本发明一实施例提供一种蒸镀用掩膜板装置，配置用以放置在一蒸镀腔中，并且遮挡一基板，所述蒸镀用掩膜板装置包括一第一贴附板、一掩膜板及一第二贴附板，其中所述第一贴附板配置用以贴附在所述掩膜板的一下表面，所述掩膜板的一上表面配置用以贴附在所述基板的一下表面，所述第二贴附板配置用以贴附在所述基板的一上表面，并用以对所述基板下方的所述掩膜板提供一吸引力，以将所述掩膜板保持固定在所述基板上。

在本发明的一实施例中，所述掩膜板为一金属掩膜板，所述第一贴附板及所述第二贴附板皆为一电磁板，所述第一贴附板配置用以吸附所述掩膜板的下表面，所述第二贴附板配置用以吸附所述掩膜板的上表面。

在本发明的一实施例中，所述第二贴附板的一磁力小于所述第一贴附板的一磁力。

在本发明的一实施例中，所述掩膜板具有一本体及多个夹孔，所述夹孔形成在所述本体的相对二侧，且配置用以供二夹爪进行夹持。

在本发明的一实施例中，所述蒸镀用掩膜板装置还包括二光学镜头，所述光学镜头设置在所述蒸镀腔外，且配置用以对位所述基板及所述掩膜板的位置。