[发明专利]一种高性能二氧化硅-二氧化锡氢气传感器

权利要求书

1.高性能SiO₂-SnO₂氢气传感器的制备方法，其特征在于：所述的高性能SiO₂-SnO₂氢气传感器包括SnO₂气体传感器和印压在SnO₂气体传感器上的介孔SiO₂改性层，所述的介孔SiO₂改性层层数为4-8层，所述的介孔SiO₂改性层厚度为7-23μm，制备方法包括以下步骤：

1）将介孔SiO₂粉末和印油快速用力研磨，将印油与粉末研磨均匀，使其充分混合，得到浆料，所述介孔SiO₂粉末孔道结构清晰，孔径均匀，具有良好的介孔特性，介孔孔径为2-3nm，印油和介孔SiO₂粉末的质量比10:1-8:1；

2）将步骤1)所得的浆料利用丝网印刷法印制于SnO₂气体传感器上；

3）置于干燥箱中，干燥使印油挥发；

4）多层印制：重复步骤（2）和（3），将印有1层介孔SiO₂的SnO₂气体传感器加印到不同层数；

5) 将步骤4)所得加印到不同层数的SnO₂气体传感器干燥，然后移至马弗炉中450-500℃烧结得到高性能SiO₂-SnO₂氢气传感器。

2.根据权利要求1所述的高性能SiO₂-SnO₂氢气传感器的制备方法，其特征在于：步骤3）的干燥温度为60℃，干燥1小时。

3.根据权利要求1所述的高性能SiO₂-SnO₂氢气传感器的制备方法，其特征在于：步骤5）中烧结为先升温为150℃，恒温20min，然后升温为300℃，恒温20min，最后将马弗炉温度设置为450-500℃，恒温2h。

4.根据权利要求1所述的高性能SiO₂-SnO₂氢气传感器的制备方法，其特征在于：所述SnO₂气体传感器的制备方法：

a）称量适量的市售二氧化锡粉末，和印油快速用力研磨，将印油与粉末研磨均匀，使其充分混合，得到浆料；

b）将步骤a)所得的浆料利用丝网印刷法印制于空白气体传感器基片上；

c）置于干燥箱中，干燥使印油挥发，得到气体传感器；

d）将步骤c)所得气体传感器移至马弗炉中，600℃烧结2小时，得到SnO₂气体传感器。