[发明专利]一种三氯氢硅湿法除尘循环液的回收系统及方法

权利要求书

1.一种三氯氢硅湿法除尘循环液的回收系统，包括氯化氢预热器和合成炉，所述氯化氢预热器的出气口与所述合成炉的进气口相连，其特征在于，还包括气流干燥塔、捕集器和缓冲罐，所述捕集器为冷凝捕集器，所述气流干燥塔的底部与缓冲罐相连，所述气流干燥塔的下部设有氯化氢气体进口，所述氯化氢气体进口与所述氯化氢预热器的出气口相连，所述气流干燥塔的上部设有湿法除尘循环液喷淋组件，所述气流干燥塔的顶部与所述捕集器下部的进料口相连，所述捕集器底部设有排料管，所述捕集器顶部的出气口与所述合成炉的进气口相连，所述缓冲罐底部设有放料管。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅湿法除尘循环液的回收系统，其特征在于：所述氯化氢预热器的外侧设有预热夹套，所述预热夹套的进口与出口分别与所述合成炉的导热油夹层连接形成循环回路。

3.根据权利要求2所述的三氯氢硅湿法除尘循环液的回收系统，其特征在于：所述进口设于预热夹套的下部，所述出口设于预热夹套的上部。

4.采用权利要求1-3中任意一项所述的回收系统回收三氯氢硅湿法除尘循环液的方法，其特征在于，该方法包括：

1）湿法除尘循环液与来自氯化氢预热器中的热氯化氢气体在气流干燥塔中逆流进行热交换，湿法除尘循环液中低沸点的氯硅烷和部分金属氯化物气化并随着热氯化氢气体进入捕集器，未气化的物料流至缓冲罐中，进行销售或水解处理；

2）热氯化氢气体中携带的金属氯化物在捕集器中析出并被捕集，氯化氢气体与氯硅烷进入合成炉中参与反应，捕集器中的金属氯化物销售或水解处理。