[发明专利]一种钼铌合金旋转靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种钼铌合金旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)将粒径为4-8微米的钼粉及铌粉放置于混料机内，在氩气氛围内充分混合得混合粉料；将所得的混合粉料压制成方坯；随后使用球磨机对方坯进行机械破碎细化，球磨时球料比3:1，转速为160-230r /min，处理时间为6-10h，其中所述球磨机内衬及磨球均为铌合金材质；球磨后过筛即得粒度范围为60-150微米的大颗粒钼铌粉体，其中所述大颗粒钼铌粉体中铌含量百分比均为5-15at％；

2)粗/细混合粉料的准备：将步骤1)中的大颗粒钼铌粉体置于混料机内，投入粒径为3-8微米的钼粉和铌粉，投入的钼粉和铌粉中铌含量百分比为5-15at％，在氩气氛围下充分混合得粗/细混合粉料，其中大颗粒钼铌粉体重量占比为25-35％；

3)冷等静压工艺：将步骤2)所制得的粗/细混合粉料装入冷等静压模具内，密封后在冷等静压作用下制得空心钼铌压坯管，其中所述冷等静压处理中压力为160-230MPa，处理时间为240-500s；

4)机加工：经过机加工车床将压坯管外缘及端面修整平齐；

5)热等静压烧结：将步骤4)所制的压坯管放入热等静压圆包套内，加热至260-400℃并抽真空，焊封好密封口后采用炉内悬吊的方法进行热等静压处理，即：将管坯包套上顶端与炉内顶盖焊接吊装，该炉内顶盖结构焊有由钼锆钛合金高温合金棒构成的九宫格式的框架，将包套顶端与框架焊接紧密，使管坯垂直悬吊于炉内进行热等静压处理，烧结成钼铌合金管坯；所述热等静压处理温度为1200-1400 ℃，压力为120-180MPa ；

6)退火：将步骤5)所得的钼铌合金管坯进行热处理退火；

7)后期镗孔及机加工：将退火后的管坯进行后期镗孔及机加工修整，制得钼铌合金旋转靶材。

2.一种钼铌合金旋转靶材，其特征在于：通过权利要求1所述方法制备而成。