[发明专利]激光式气体分析仪

权利要求书

1.一种激光式气体分析仪，包括：

发光部，所述发光部向测定对象气体照射激光；

反射部，所述反射部对通过测定对象气体后的所述激光进行反射；

光接收部，所述光接收部接收来自所述反射部的所述激光；

控制部，所述控制部控制所述发光部，并对来自所述光接收部的输出信号进行处理；

筒状的测定对象气体通过部，所述测定对象气体通过部设置在所述发光部与所述反射部之间，并具有供测定对象气体流入和流出的开口；

第一吹扫区域部，所述第一吹扫区域部设置在所述测定对象气体通过部的所述发光部侧，且填充有不包含测定对象成分的吹扫气体；以及

第一隔壁部，所述第一隔壁部划定所述测定对象气体通过部与所述第一吹扫区域部之间的边界，并具有能够让所述激光通过的开孔，其中，

所述第一吹扫区域部内的所述吹扫气体防止穿过所述第一吹扫区域部的所述激光暴露于所述测定对象气体，

所述开孔的面积小于所述第一吹扫区域部的路径面积，以便抑制所述吹扫气体从所述第一吹扫区域部向所述测定对象气体通过部的运动，并且

在所述第一隔壁部的与所述发光部相对的面，形成有促进所述激光的散射的微小凹凸、或者实施了促进所述激光的散射或吸收的表面处理。

2.如权利要求1所述的激光式气体分析仪，还包括：

第二吹扫区域部，所述第二吹扫区域部设置在所述测定对象气体通过部的所述反射部侧，并填充有所述吹扫气体；以及

第二隔壁部，所述第二隔壁部划定所述测定对象气体通过部与所述第二吹扫区域部之间的边界，并具有能够让所述激光通过的开孔，

在所述第二隔壁部的与所述发光部相对的面，形成有促进所述激光发生散射的微小凹凸、或者实施了促进所述激光的散射或吸收的表面处理。

3.如权利要求1或2所述的激光式气体分析仪，其中，

所述表面处理是喷砂处理。

4.如权利要求1至3的任一项所述的激光式气体分析仪，其中，

能够相对于所述第一隔壁部，在与光轴正交的方向上调整发光部的位置。