[发明专利]激光式气体分析仪

说明书

本发明提供一种提高了成分浓度的测定精度的激光式气体分析仪。激光式气体分析仪(100)具备：向测定对象气体照射激光(11a)的发光部(11)；对通过测定对象气体后的激光进行反射的反射部(28)；接收由反射部(28)反射的激光的光接收部(13)；控制发光部(11)并对来自光接收部(13)的输出信号进行处理的控制部(15)；具有供测定对象气体流入和流出的开口(22a、22b)的测定对象气体通过部(22)；填充有不含测定对象气体的吹扫气体的吹扫区域部(24)；以及具有能够让激光(11a)通过的开孔(26a)的隔壁部(26)，在隔壁部(26)的与发光部(11)相对的面形成有促进激光(11a)的散射的微小凹凸或实施了促进激光(11a)的散射或吸收的表面处理。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年5月11日提出申请的日本专利申请第2018-92398号的优先权，通过参考该日本专利申请的说明书全文而在本申请的说明书中进行引用。

技术领域

本发明涉及激光式气体分析仪。

背景技术

作为检测CO、CO₂、O₂等各种气体浓度的分析仪，已知有激光式气体分析仪。该激光式气体分析仪向测定对象气体照射激光，利用的是存在于激光光路中的气体会将激光吸收这一点。

作为这样的激光式气体分析仪，例如专利文献1中公开了一种气体分析用探针，其在筒状构件内具备吹扫气体提供部、样本气体流入部、第二样本气体流入部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5813409号说明书

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，专利文献1所记载的气体分析用探针中，并未设置用于抑制吹扫气体向测定区域的中央方向移动的物理边界。因而，暴露在样本气体中的激光的光路长度无法稳定，所以在成分浓度的测定精度上还有改善的余地。

本发明以解决上述问题作为课题，其目的在于提供一种提高成分浓度的测定精度的激光式气体分析仪。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明是为了解决上述技术问题而完成的，本发明的激光式气体分析仪包括：

发光部，所述发光部向测定对象气体照射激光；

反射部，所述反射部对通过测定对象气体后的所述激光进行反射；

光接收部，所述光接收部接收由所述反射部发射的所述激光；

控制部，所述控制部控制所述发光部，并对来自所述光接收部的输出信号进行处理；

筒状的测定对象气体通过部，所述测定对象气体通过部设置在所述发光部与所述反射部之间，并具有供测定对象气体流入和流出的开口；

第一吹扫区域部，所述第一吹扫区域部设置在所述测定对象气体通过部的所述发光部侧，且填充有不包含所述测定对象成分的吹扫气体；以及第一隔壁部，所述第一隔壁部划定所述测定对象气体通过部与所述第一吹扫区域部之间的边界，并具有能够让所述激光通过的开孔，

在所述第一隔壁部的与所述发光部相对的面形成有促进所述激光的散射的微小凹凸、或者实施了促进所述激光的散射或吸收的表面处理。通过采用这样的结构，能够使专利文献1所无法实现的在测定对象气体通过部与吹扫区域部之间设置物理边界从而使暴露在测定对象气体中的光路长度稳定，并且能够抑制因设置物理边界而导致不需要的返回光进入光接收部，从而提高测定对象气体的成分浓度的检测精度。