[发明专利]探针、检查夹具、检查装置、以及探针的制造方法

权利要求书

1.一种探针，其特征在于，

具有呈直线状地延长的大致棒状形状，包括一端部、与所述一端部相连的主体部、及与所述主体部相连的另一端部，

所述主体部包含：

第一连接区域，与所述棒状形状的轴方向正交的厚度方向的厚度随着从所述一端部离开而逐渐地变薄；以及

第二连接区域，所述厚度随着从所述另一端部离开而逐渐地变薄；且

所述主体部中的与所述厚度方向正交的宽度方向的尺寸比所述一端部及所述另一端部大。

2.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，

所述主体部还包括平坦区域，所述平坦区域延设在所述第一连接区域与所述第二连接区域之间，且厚度大致固定。

3.根据权利要求2所述的探针，其特征在于，

所述平坦区域的所述宽度方向的尺寸大致固定。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的探针，其特征在于，

所述第一连接区域及所述第二连接区域中的至少一者中的所述厚度的变化为曲线状。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的探针，其特征在于，

所述第一连接区域及所述第二连接区域中的至少一者中的所述厚度的变化为沿着圆弧的曲线状。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的探针，其特征在于，

所述主体部的厚度在所述主体部的所述轴方向的中央部最薄。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的探针，其特征在于，

所述主体部的所述厚度方向的厚度在从所述主体部的所述轴方向的中央部偏离的位置上最薄。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的探针，其特征在于，

所述主体部包括：

第一宽度区域，所述宽度方向的尺寸随着从所述一端部离开而逐渐地增大；以及

第二宽度区域，所述宽度方向的尺寸随着从所述另一端部离开而逐渐地增大。

9.一种检查夹具，其特征在于，包括：

根据权利要求1至8中任一项所述的探针；

第一板，形成有所述探针进行插通的第一贯穿孔；

第二板，形成有所述探针进行插通的第二贯穿孔；以及

连结构件，隔着间隔来支撑所述第一板与所述第二板；

所述主体部的至少一部分位于所述第一贯穿孔内，

所述第一贯穿孔包含：

孔本体，内径比所述主体部的位于所述第一贯穿孔内的部分中的最大的所述宽度方向的尺寸小，且能够使所述一端部插通；以及

一对引导槽，以沿着所述第一贯穿孔的贯穿方向延长的方式形成在所述孔本体的内壁面中的相互相向的位置上；且

所述主体部的至少一部分位于所述一对引导槽内。

10.根据权利要求9所述的检查夹具，其特征在于，

所述一对引导槽能够使所述主体部中的所述宽度方向的尺寸最大的部分插通。

11.根据权利要求9或10所述的检查夹具，其特征在于，

包括多个所述探针，

在所述第一板中形成有对应于所述多个探针的多个第一贯穿孔，

在所述第二板中形成有对应于所述多个第一贯穿孔的多个第二贯穿孔，且

形成在所述多个第一贯穿孔中的各对的所述引导槽的相向方向大致相同。

12.根据权利要求11所述的检查夹具，其特征在于，

所述多个第一贯穿孔配置在相互平行的多条第一直线与相互平行的多条第二直线呈格子状地交叉的各交点上，且

所述各相向方向相对于所述第一直线及所述第二直线倾斜。

13.一种检查装置，其特征在于，

通过使如权利要求1至8中任一项所述的探针接触检查对象物来检查所述检查对象物。