[发明专利]接收多个基板以进行处理的保持装置、处理装置及方法

权利要求书

1.在基板处理装置中能用于接收多个基板的保持装置，包含以下的构件：

-法兰(10)，

-至少一个以能松开的方式设置在法兰(10)上的部段(20)，

-其中法兰(10)具有将所述至少一个部段(20)设置在法兰(10)上的连接面，

-其中所述至少一个部段(20)具有一个部段支承装置(30)，

-至少一个安装在部段支承装置(30)上的运载器(40)，其作用是接收一个或多个基板(61)。

2.根据权利要求1所述的保持装置，其中部段(20)以松散的方式与法兰(10)连接，或是以能非破坏性地松开的方式固定在法兰(10)上。

3.根据前述权利要求中任意一项所述的保持装置，其中法兰(10)及/或所述至少一个部段(20)具有将部段(20)保持、固定、或保持及固定在法兰(10)上的止动件(15)。

4.根据权利要求3所述的保持装置，其中部段(20)的止动件(15)或其部分设置在支承装置(30)上。

5.根据前述权利要求中任意一项所述的保持装置，其中所述至少一个运载器(40)以松散的方式与部段支承装置(30)连接，或是以能松开的方式固定在部段支承装置(30)上。

6.根据前述权利要求中任意一项所述的保持装置，其中在运载器(40)的保持状态下，运载器(40)及/或至少一个部段(20)的部段支承装置(30)被保持装置(1)将法兰(10)上的连接面及/或止动件(15)至少部分遮盖住。

7.根据前述权利要求中任意一项所述的保持装置，其中运载器(40)是由多个部分组成。

8.根据前述权利要求中任意一项所述的保持装置，其中法兰(20)是由圆形平板及径向安装在所述圆形平板上的支架(13)构成，其中至少支架(13)具有连接面。

9.根据权利要求8所述的保持装置，其中部段(20)是一圆环形部段。

10.处理基板(61)用的处理装置，包含以下构件：

-至少一个处理室，且处理室具有至少一个处理部段；

-基板运送装置，其任务是使基板(61)在处理装置内移动；

-其中基板运送装置具有如前述权利要求中任一项的保持装置(1)，其任务是接收多个基板(61)。

11.根据权利要求10所述的保持装置，其中处理部段是一镀膜部段，其作用是在基板(61)上沉积出表面层。

12.在根据权利要求10或11所述的处理装置(60)内处理基板(61)的方法，包括以下的步骤：

-准备一个待处理的基板(61)；

-准备如权利要求1至9中任一项的保持装置(1)的部段(20)，其中部段(20)是用于接收运载器(40)，在运送及处理基板(61)的过程中，运载器(40)能够将基板(61)保持住；

-将基板(61)装到运载器(40)；

-将装有基板(61)的运载器(40)安装在部段支承装置(30)上；

-将部段支承装置(30)及装有基板(61)的运载器(40)送入处理装置(60)，并将部段(20)安装在处理装置(60)的保持装置(1)上；

-处理基板(61)；以及

-将部段(20)及/或运载器(40)从处理装置(60)送出，其中部段及/或运载器(40)装有处理过的基板(61)。

13.根据权利要求12所述的方法，其中将部段支承装置(30)及运载器(40)一起送入，或是在送入运载器(40)之前，先将支承装置(30)送入。

14.根据权利要求12或13所述的方法，其中至少将部段(20)安装到保持装置(1)的作业是以自动化方式进行。

15.根据权利要求12至14中任意一项所述的方法，其中将装有基板(61)的部段(20)或运载器(40)设置在储料室内，以供送入处理装置(60)之用。