[发明专利]一种器件结构的孔槽内壁金属化工艺在审
| 申请号： | 201910387413.2 | 申请日： | 2019-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN110238015A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 苏聪;虞成城;宋喆 | 申请（专利权）人： | 深圳市信维通信股份有限公司 |
| 主分类号： | B05D7/22 | 分类号： | B05D7/22;B05D5/06;B05D3/04 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人： | 林栋;张鹏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 孔槽 内壁 器件结构 金属化工艺 吹气装置 金属化 抽气 浆料 喷头 金属化浆料 吹气动作 电学性能 过度饱和 局部区域 均匀涂覆 槽内壁 吹气 流平 让孔 喷洒 | ||
【权利要求书】：
1.一种器件结构的孔槽内壁金属化工艺，其特征在于：包括如下步骤，
S1、利用喷头向孔槽内壁喷洒金属化用浆料；
S2、利用抽吹气装置对经过步骤S1的孔槽进行抽气和吹气。
2.根据权利要求1所述的器件结构的孔槽内壁金属化工艺，其特征在于：所述喷头为雾化喷头。
3.根据权利要求1所述的器件结构的孔槽内壁金属化工艺，其特征在于：所述喷头呈管状，所述喷头的周壁上设有多个雾化孔，所述雾化孔的直径为100-200um，所述喷头的直径为0.8-3mm。
4.根据权利要求1所述的器件结构的孔槽内壁金属化工艺，其特征在于：所述抽吹气装置包括真空泵。
5.根据权利要求1所述的器件结构的孔槽内壁金属化工艺，其特征在于：步骤S1之前还包括步骤S0、将孔槽的深度方向调整为与器件结构所受重力方向一致。
6.根据权利要求1所述的器件结构的孔槽内壁金属化工艺，其特征在于：步骤S2之后还包括步骤S3，对经过步骤S2的孔槽内壁进行烘干。
7.根据权利要求6所述的器件结构的孔槽内壁金属化工艺，其特征在于：步骤S3之后还包括步骤S4，检测孔槽内金属层的厚度，若所述金属层厚度小于预设厚度，则重复步骤S1至S4。
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