[发明专利]准直器的制作方法、准直器、光学指纹模组及电子设备在审
申请号: | 201910388867.1 | 申请日: | 2019-05-10 |
公开(公告)号: | CN111914605A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 马铁球;刘泉;安宏鹏;黄鑫源 | 申请(专利权)人: | 南昌欧菲生物识别技术有限公司 |
主分类号: | G06K9/00 | 分类号: | G06K9/00;G06K9/20 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 石佩;邓云鹏 |
地址: | 330029 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 准直器 制作方法 光学 指纹 模组 电子设备 | ||
1.一种准直器的制作方法,其特征在于,包括:
交替层叠设置遮光层和透明层,所述遮光层比所述透明层多一层,以便使任一透明层的两侧均设置有所述遮光层,所述遮光层包括第一次设置的底部遮光层和最后一次设置的顶部遮光层;
其中,设置所述遮光层的步骤包括:图案化所述遮光层,以在该遮光层上形成透光孔,各遮光层上的透光孔对应设置形成光选择通道;
设置所述透明层的步骤包括:在图案化的所述遮光层上设置第一透明介质,以在所述遮光层上形成透明层,且所述第一透明介质填充所述透光孔;
相邻两个遮光层包覆在位于该相邻两个遮光层之间的所述透明层的外侧,以便阻挡光线从所述光选择通道之外的区域进入该透明层。
2.根据权利要求1所述的准直器的制作方法,其特征在于,所述底部遮光层设置在基板上,其中,所述基板为透明基板或感光片。
3.根据权利要求2所述的准直器的制作方法,其特征在于,在设置顶部遮光层之后还包括,设置填充层的步骤:在顶部遮光层的透光孔内填充第二透明介质,形成填充层;
其中,当所述基板为透明基板时,所述填充层与所述顶部遮光层平齐;当所述基板为感光片时,所述填充层与所述顶部遮光层平齐或所述填充层凸出于所述顶部遮光层。
4.根据权利要求3所述的准直器的制作方法,其特征在于,所述第二透明介质为透明光阻,设置所述填充层的步骤包括:
在所述顶部遮光层上设置所述透明光阻;
去除与所述顶部遮光层的透光孔相对区域之外的透明光阻,剩余的透明光阻形成所述填充层。
5.根据权利要求4所述的准直器的制作方法,其特征在于,各遮光层均为不透光光阻层,各所述不透光光阻层均通过黄光工艺形成透光孔;
其中,所述不透光光阻层采用负向光阻,所述透明光阻层采用正向光阻,以使各遮光层与透明光阻层可以采用同一掩膜版进行黄光工艺。
6.根据权利要求5所述的准直器的制作方法,其特征在于,在设置所述填充层的步骤之后还包括,设置第一保护层的步骤:在所述填充层外侧设置第一保护层,所述第一保护层用于阻止紫外光照射所述填充层;及/或
在设置所述顶部层遮光层的步骤之后,并在设置所述填充层的步骤之前还包括,设置第二保护层的步骤:在所述顶部遮光层上设置第二遮光层,所述第二遮光层覆盖所述顶部遮光层上的透光孔的内壁,用于阻止紫外光照射所述填充层。
7.根据权利要求2所述的准直器的制作方法,其特征在于,在设置所述底部遮光层的步骤之前还包括,设置附着层的步骤:在所述基板上设置附着层;所述附着层用于增加所述遮光层在所述基板上的附着力;
或者,在设置所述顶部遮光层的步骤之后还包括:去除所述基板。
8.一种准直器,其特征在于,包括:
交替层叠的遮光层和透明层;
其中,所述遮光层的层数大于所述透明层的层数,所述遮光层包括底部遮光层、顶部遮光层,以及位于所述底部遮光层和所述顶部遮光层之间的中间遮光层;
各所述遮光层上设有透光孔,且各所述遮光层上的所述透光孔相对应,形成光选择通道;相邻两所述遮光层包覆在位于二者之间的所述透明层的外侧,以便阻挡光线从所述光选择通道之外的区域进入所述透明层。
9.根据权利要求8所述的准直器,其特征在于,所述准直器还包括透明基板,所述底部遮光层设置在所述透明基板上。
10.根据权利要求9所述的准直器,其特征在于,所述底部遮光层与所述透明基板之间设有附着层,以提高所述底部遮光层与所述透明基板之间的附着力。
11.根据权利要求8所述的准直器,其特征在于,各所述遮光层的透光孔内设有填充层,其中,设于所述顶部遮光层的透光孔的填充层与所述顶部遮光层平齐,及/或设于所述底部遮光层的透光孔的填充层与所述底部遮光层平齐。
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