[发明专利]准直器的制作方法、准直器、光学指纹模组及电子设备

说明书

本发明涉及一种准直器的制作方法、准直器、光学指纹模组及电子设备，该方法包括交替层叠设置遮光层和透明层，遮光层比透明层多一层，以便使任一透明层的两侧均设置有遮光层；其中，设置遮光层的步骤包括：图案化遮光层，以在该遮光层上形成透光孔，各遮光层上的透光孔对应设置形成光选择通道；设置透明层的步骤包括：在图案化的所光层上设置第一透明介质，以在遮光层上形成透明层，且第一透明介质填充透光孔；相邻两个遮光层包覆在位于该相邻两个遮光层之间的所述透明层的外侧，以便阻挡光线从光选择通道之外的区域进入该透明层。通过调整遮光层和透明层的数量进行调整，可以增大光选择通道的深度与宽度的比值，提高准直器的准直效果。

技术领域

本发明涉及光学技术领域，特别是涉及准直器的制作方法、准直器、光学指纹模组及电子设备。

背景技术

在光学指纹模组中，通常需要使用光准直器来过滤一部分光线，仅让特定角度的光线，即准直光通过并作用在指纹传感器上，这样可以避免不同光线交错带来的干扰。然而现有准直器的准直孔能够准直光线的角度范围非常有限，如果需要进一步提高准直精度，不仅其制程难度会成倍增加(甚至不可能实现)，而且准直孔容易出现侧壁倾斜、变形、倒塌等问题。因此，现有准直器的准直效果差，无法满足需求。

发明内容

基于此，有必要针对现有准直器准直效果差问题，提供一种准直器的制作方法、准直器、光学指纹模组及电子设备。

一种准直器的制作方法，包括：交替层叠设置遮光层和透明层，所述遮光层比所述透明层多一层，以便使任一透明层的两侧均设置有所述遮光层，所述遮光层包括第一次设置的底部遮光层和最后一次设置的顶部遮光层；其中，设置所述遮光层的步骤包括：图案化所述遮光层，以在该遮光层上形成透光孔，各遮光层上的透光孔对应设置形成光选择通道；设置所述透明层的步骤包括：在图案化的所述遮光层上设置第一透明介质，以在所述遮光层上形成透明层，且所述第一透明介质填充所述透光孔；相邻两个遮光层包覆在位于该相邻两个遮光层之间的所述透明层的外侧，以便阻挡光线从所述光选择通道之外的区域进入该透明层。

本发明提供的准直器的制作方法，通过分层制作的方式使得准直器的置遮光层和透明层的数量可以调整，这样可以根据实际需求增大光选择通道的深度与宽度(当透光孔为圆孔时，宽度为透光孔的直径)的比值，进而提高准直器的准直效果。同时，本发明提供的准直器的制作方法中，在最后一次形成的透明层上又设置了一层具有透光孔的遮光层，这样该便能使准直器远离基板的一侧作为出光面，提高生产效率。

进一步的，述底部遮光层设置在基板上，其中，所述基板为透明基板或感光片。

进一步的，在设置顶部遮光层之后还包括，设置填充层的步骤：在顶部遮光层的透光孔内填充第二透明介质，形成填充层；其中，当所述基板为透明基板时，所述填充层与所述顶部遮光层平齐；当所述基板为感光片时，所述填充层与所述顶部遮光层平齐或所述填充层凸出于所述顶部遮光层。这样可以使遮光层的透光孔完全被填充，避免因灰尘等杂物进入透光孔而遮挡光线，提高准直器的性能。

进一步的，所述第二透明介质为透明光阻，设置所述填充层的步骤包括：在所述顶部遮光层上设置所述透明光阻；去除与所述顶部遮光层的透光孔相对区域之外的透明光阻，剩余的透明光阻形成所述填充层。

进一步的，各遮光层均为不透光光阻层，各所述不透光光阻层均通过黄光工艺形成透光孔；其中，所述不透光光阻层采用负向光阻，所述透明光阻层采用正向光阻，以使各遮光层与透明光阻层可以采用同一掩膜版进行黄光工艺。

进一步的，在设置所述填充层的步骤之后还包括，设置第一保护层的步骤：在所述填充层外侧设置第一保护层，所述第一保护层用于阻止紫外光照射所述填充层；及/或在设置所述顶部层遮光层的步骤之后，并在设置所述填充层的步骤之前还包括，设置第二保护层的步骤：在所述顶部遮光层上设置第二遮光层，所述第二遮光层覆盖所述顶部遮光层上的透光孔的内壁，用于阻止紫外光照射所述填充层。