[发明专利]显示面板的母板曝光结构有效
申请号: | 201910392618.X | 申请日: | 2019-05-13 |
公开(公告)号: | CN110232867B | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | 丁华龙 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F1/42 | 分类号: | G03F1/42;G09F9/30;G03F7/20 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 母板 曝光 结构 | ||
1.一种显示面板的母板曝光结构,其特征在于,包括多个曝光区,所述多个曝光区沿第一方向并排设置,每个所述曝光区沿所述第一方向的尺寸定义为d1,相邻两个所述曝光区之间的间距定义为d2,用于对所述显示面板母板进行曝光的掩膜板在所述第一方向上的尺寸定义为d;
用于对所述显示面板母板进行曝光的机台包括定位装置,对所述显示面板的母板进行曝光时,所述掩膜板设置于所述显示面板母板之上,所述定位装置设置于所述掩膜板之上,所述定位装置在所述显示面板母板上的垂直投影区为第一区域,所述第一区域在所述第一方向上的尺寸定义为d3,所述第一区域与所述曝光区无重合;
其中,所述d1、d2和d满足下列关系式:
d1+2*d2≤d;
所述d2与所述d3之间满足下列关系式:
d2≥d3。
2.根据权利要求1所述的母板曝光结构,其特征在于,所述定位装置包括显微镜和挡片,所述显微镜在所述显示面板母板上的垂直投影区为第二区域,所述挡片在所述显示面板母板上的垂直投影区为第三区域,所述第二区域与所述第三区域在所述第一方向上的尺寸分别定义为a1和a2,且满足:a1+a2=d3。
3.根据权利要求2所述的母板曝光结构,其特征在于,所述显微镜具有圆形截面,所述第二区域为圆形区域,所述第二区域在所述第一方向上的尺寸是所述圆形区域的直径。
4.根据权利要求2所述的母板曝光结构,其特征在于,所述挡片具有矩形截面,所述第三区域为矩形区域,所述第三区域在所述第一方向上的尺寸是所述矩形区域的在所述第一方向上的边长。
5.根据权利要求1所述的母板曝光结构,其特征在于,所述掩膜板包括图案区和边缘区,所述图案区在所述显示面板母板上的投影覆盖所述曝光区。
6.根据权利要求1所述的母板曝光结构,其特征在于,所述显示面板母板包括第一标记,所述掩膜板包括第二标记,所述定位装置通过检测所述第一标记与所述第二标记的位置对所述显示面板母板与所述掩膜板进行定位。
7.根据权利要求1所述的母板曝光结构,其特征在于,所述曝光区的形状为矩形,所述曝光区在所述第一方向上的尺寸是所述曝光区的宽度方向的尺寸。
8.根据权利要求1所述的母板曝光结构,其特征在于,每个所述曝光区的形状相同。
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