[发明专利]用于真空处理设备的抽吸抓爪的保持装置

权利要求书

1.一种用于抽吸抓爪(12)或用于真空处理设备(2)的基部(13)处的另一接口元件的保持装置(14)，

其中，所述保持装置(14)设计成可拆卸地将所述抽吸抓爪(12)附接到所述基部(13)，并且所述保持装置(14)具有第一方向(20)和与所述第一方向(20)垂直的第二方向(22)，

其中，所述保持装置(14)包括基部侧部分(16)和抽吸抓爪侧部分(18)，

其中，所述基部侧部分(16)包括用于所述抽吸抓爪侧部分(18)的滑座插座(28)，其中限定了滑动平面(32)和滑动方向(30)，

其中，所述抽吸抓爪侧部分(18)包括滑鞋(34)，所述滑鞋(34)构造成布置在所述滑座插座(28)的所述滑动平面(32)中，并且沿着所述滑动方向(30)且处于与所述滑座插座(28)正后方接合位置中，所述滑鞋(34)可线性滑动到所述基部侧部分(16)上的预期的组装位置中，

其中，所述滑座插座(28)的所述滑动方向(30)沿所述第二方向(22)延伸，

其中，所述滑座插座(28)具有包围并正后方接合所述滑鞋(34)的区域(38)，所述区域(38)另外限定沿所述第一方向(20)延伸的插入开口(40)，

其中，所述滑座插座(28)和所述插入开口(40)以及所述滑鞋(34)设计成使得所述滑鞋可沿所述第二方向(22)滑动到所述滑座插座(28)中，或者，所述滑鞋可沿所述第一方向(20)通过所述插入开口(40)插入所述滑座插座(28)中并且然后可绕着所述第一方向(20)旋转到所述后方接合位置中以及所述滑座插座(28)中的预期的组装位置中。

2.根据权利要求1所述的保持装置(14)，其特征在于，所述滑鞋(34)是板形的。

3.根据权利要求1或2所述的保持装置(14)，其特征在于，在平面视图中沿所述第一方向观看，所述滑鞋(34)设计成多边形。

4.根据权利要求1所述的保持装置(14)，其特征在于，所述滑鞋(34)在所述滑动平面(32)中具有第一尺寸(A1)和倾斜于所述第一尺寸(A1)的第二尺寸(A2)，其中所述第一尺寸(A1)和所述第二尺寸(A2)是不同FB190547DE的。

5.根据权利要求4所述的保持装置(14)，其特征在于，所述滑鞋(34)的所述第一尺寸(A1)大于所述第二尺寸(A2)，并且，所述滑鞋可沿着所述滑动方向(30)与其第二尺寸(A2)垂直地线性滑动进入所述滑座插座(28)中，直到其预定的组装位置。

6.根据权利要求1所述的保持装置(14)，其特征在于，在包围并正后方接合所述滑鞋(34)的所述区域(38)中，至少一个相对的开边切口(42)形成为在所述滑动平面(32)中延伸并且在所述第一方向(20)上通过相应的后方接合区域(38)连续并且限定了所述插入开口(40)，使得所述滑鞋可定位在所述滑座插座(28)的外侧并且可定向成使得从那里穿过所述插入开口(40)，当以其两个尺寸(A1，A2)中的较大尺寸(A1)插入时，其延伸通过所述切口(42)。

7.根据权利要求1所述的保持装置(14)，其特征在于，所述滑座插座(28)设计为燕尾形。

8.根据权利要求1所述的保持装置(14)，其特征在于，所述抽吸抓爪(12)模制在所述保持装置(14)的所述抽吸抓爪侧部分(18)上或者被夹在所述保持装置(14)的所述抽吸抓爪侧部分(18)上或者被拧到所述保持装置(14)的所述抽吸抓爪侧部分(18)上。

9.根据权利要求1所述的保持装置(14)，其特征在于，所述保持装置(14)的所述抽吸抓爪侧部分(18)由所述滑鞋(34)和在所述抽吸抓爪(12)的方向上从所述滑鞋(34)突出的突出部(36)形成。