[发明专利]元件基板及其制造方法有效
申请号: | 201910398899.X | 申请日: | 2019-05-14 |
公开(公告)号: | CN110233146B | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 陈逸祺;童腾赋;李铭轩;邱冠焴 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544;H01L21/68;G03F9/00 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 黄艳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 元件 及其 制造 方法 | ||
1.一种元件基板,包括:
一基板;以及
一图案化层,位于该基板上,该图案化层包括由一第一光罩所定义的一第一区以及由一第二光罩所定义的一第二区,其中该第一区包括一第一对位标记,且该第二区包括一第二对位标记,该第一对位标记与该第二对位标记相邻于该第一区与该第二区的交界处,
其中,该第一光罩拼接该第二光罩,
其中,该基板包括一显示区以及位于该显示区至少一侧的一周边区,该第一对位标记与该第二对位标记位于该显示区上。
2.如权利要求1所述的元件基板,还包括:
一扫描线,位于该基板上;且
该图案化层还包括一数据线,该数据线与该扫描线交错,该第一对位标记重叠于该扫描线。
3.如权利要求1所述的元件基板,其中,该第一对位标记以及该第二对位标记各自包括:
一像素电极,具有多个狭缝,该像素电极的至少部分侧边平行于一第一方向,且该像素电极的至少另一部分侧边平行于一第二方向,该第一方向正交于该第二方向。
4.如权利要求1所述的元件基板,其中,该第一对位标记以及该第二对位标记各自包括:
一像素电极,具有多个狭缝,该狭缝的至少部分侧边平行于一第一方向,且该像素电极的至少部分侧边平行于一第二方向,该第一方向正交于该第二方向。
5.如权利要求1所述的元件基板,其中,该第一对位标记以及该第二对位标记各自包括:
一像素电极,具有多个狭缝;以及
一辅助标记,位于该像素电极的一侧。
6.一种元件基板,包括:
一基板;以及
一图案化层,位于该基板上,该图案化层包括由第一光罩所定义的一第一区、由第二光罩所定义的一第二区、由第三光罩所定义的一第三区以及由第四光罩所定义的一第四区,其中
该第一区包括多个第一对位标记,
该第二区包括多个第二对位标记,
该第三区包括多个第三对位标记,
该第四区包括多个第四对位标记,
其中一个第一对位标记与其中一个第二对位标记相邻于该第一区与该第二区的交界处,
其中另一个第一对位标记与其中一个第三对位标记相邻于该第一区与该第三区的交界处,
其中另一个第二对位标记与其中一个第四对位标记相邻于该第二区与该第四区的交界处,
其中另一个第三对位标记与其中另一个第四对位标记相邻于该第三区与该第四区的交界处,
其中,该第一光罩、该第二光罩、该第三光罩、该第四光罩彼此拼接,
其中,该第一区与该第二区的交界处、该第一区与该第三区的交界处、该第二区与该第四区的交界处以及该第三区与该第四区的交界处为锯齿状。
7.如权利要求6所述的元件基板,其中,
于该第一区与该第三区的交界处,该其中一个第三对位标记对应其中三个第一对位标记设置;
于该第二区与该第四区的交界处,该其中一个第四对位标记对应其中三个第二对位标记设置。
8.如权利要求7所述的元件基板,其中,该其中一个第三对位标记、该其中三个第一对位标记中的一者、该其中一个第四对位标记以及该其中三个第三对位标记中的一者位于同一水平线上。
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