[发明专利]一种阻焊线路一体曝光的LD多光谱曝光方法及系统

权利要求书

1.一种阻焊线路一体曝光的LD多光谱曝光方法，其特征是：包括以下步骤

S1、将若干个不同波长的LD光线进行组合合光；

S2、合光后的光线经过变向件将光线变向到空间光调制器(102)；

S3、由空间光调制器(102)通过图形调制把数字信号转化成光信号；

S4、将空间光调制器(102)投射的光线经过宽光谱成像系统(104)成像在曝光板(105)上。

2.根据权利要求1所述的一种阻焊线路一体曝光的LD多光谱曝光方法，其特征是：所述步骤S1还包括以下步骤

S1.1、将若干个不同波长的光线分别进行耦合处理；

S1.2、将进行耦合处理后的若干个光线进行匀光处理；

S1.3、将进行匀光处理后的若干个光线进行聚焦整形处理；

S1.4、将进行聚焦整形处理的若干个光线通过若干个分光镜合光。

3.根据权利要求1所述的一种阻焊线路一体曝光的LD多光谱曝光方法，其特征是：所述步骤S1还包括以下步骤

S1.1、将若干个不同波长的光线经过分光滤光片(300)进行合光处理；

S1.2、将经过分光滤光片(300)进行合光处理后的光线进行耦合处理；

S1.3、将进行耦合处理后的光线进行匀光处理；

S1.4、将进行匀光处理后的光线进行聚焦整形处理。

4.根据权利要求1所述的一种阻焊线路一体曝光的LD多光谱曝光方法，其特征是：所述步骤S1还包括以下步骤

S1.1、将若干个不同波长的光线分别通入不同的光纤进行耦合合光处理，若干个光纤的出光口(401)为同一个出光口(401)；

S1.2、将经过光纤进行耦合合光处理后的光线进行聚焦整形处理。

5.一种阻焊线路一体曝光的LD多光谱曝光系统，其特征是：包括

合光照明系统(101)：将若干个不同波长的LD光线进行组合合光；

合光后的光线经过反射镜(103)反射到空间光调制器(102)；

空间光调制器(102)：把数字信号转化成光信号并投射光线；

宽光谱成像系统(104)：将空间光调制器(102)投射的光线成像在曝光板(105)上。

6.根据权利要求5所述的一种阻焊线路一体曝光的LD多光谱曝光系统，其特征是：所述合光照明系统(101)包括

若干个耦合件：将若干个不同波长的光线分别进行耦合处理；

若干个匀光件：将进行耦合处理后的若干个光线进行匀光处理；

若干个聚焦整形镜组：将进行匀光处理后的若干个光线进行聚焦整形处理；

若干个分光镜：将进行聚焦整形处理的若干个光线合光。

7.根据权利要求5所述的一种阻焊线路一体曝光的LD多光谱曝光系统，其特征是：所述合光照明系统(101)包括

分光滤光片(300)：将若干个不同波长的光线进行合光处理；

耦合件：将经过分光滤光片(300)进行合光处理后的光线进行耦合处理；

匀光件：将进行耦合处理后的光线进行匀光处理；

聚焦整形镜组：将进行匀光处理后的光线进行聚焦整形处理。

8.根据权利要求5所述的一种阻焊线路一体曝光的LD多光谱曝光系统，其特征是：包括

若干个出光口(401)为同一出光口(401)的光纤：将若干个不同波长的光线耦合合光处理；

聚焦整形镜组：将经过光纤进行耦合合光处理后的光线进行聚焦整形处理。

9.根据权利要求5所述的一种阻焊线路一体曝光的LD多光谱曝光系统，其特征是：所述控制方式选用激光脉冲同步控制方式。