[发明专利]数据处理装置、数据处理方法、记录介质及数据处理系统

权利要求书

1.一种数据处理装置，其能够通信地与光刻装置连接，经由网络发送来自所述光刻装置的数据，所述数据处理装置的特征在于，具备：

判断部，其判断所述光刻装置的运转状态并获取所述运转状态；

获取部，其获取所述网络的通信速度；

决定部，其基于由所述判断部获取到的运转状态、由所述获取部获取到的所述通信速度以及所述数据的优先度来决定要发送的数据，

所述数据的优先度是按从所述光刻装置接收所述数据的各个目的以及所述光刻装置的各个运转状态而预先设定的。

2.根据权利要求1所述的数据处理装置，其特征在于，

所述光刻装置的运转状态包含正在实施设置动作的状态、正在实施维护动作的状态、正在实施设备的制造的状态。

3.根据权利要求1所述的数据处理装置，其特征在于，

所述数据的优先度是按从所述光刻装置接收的所述数据的各个种类而预先设定的。

4.根据权利要求1所述的数据处理装置，其特征在于，

所述判断部判断所述光刻装置的错误状态并获取所述错误状态，

所述决定部基于由所述判断部获取到的所述错误状态来决定所述要发送的数据。

5.根据权利要求4所述的数据处理装置，其特征在于，

所述光刻装置的错误状态包含所述光刻装置的工艺精度产生了偏差的状态、所述光刻装置的光学系统正在劣化的状态以及所述光刻装置的消耗部件正在消耗的状态。

6.根据权利要求1所述的数据处理装置，其特征在于，

所述决定部基于所述网络的通信速度越低越设定为高优先度的信息来决定所述要发送的数据。

7.根据权利要求1所述的数据处理装置，其特征在于，

还具备保存部，所述保存部保存所述光刻装置的运转状态、所述光刻装置的错误状态、所述网络的通信速度、或与所述接收的目的相对应而与所述优先度相关的信息。

8.根据权利要求7所述的数据处理装置，其特征在于，

所述决定部基于所述光刻装置的运转状态或所述光刻装置的错误状态、所述接收的目的、与所述优先度相关的信息，生成包含与所述接收的目的相对应的所需的数据和与所述所需的数据相对应的所述优先度的信息。

9.一种数据处理方法，经由网络发送来自光刻装置的数据，所述数据处理方法的特征在于，具有：

第一工序，判断所述光刻装置的运转状态并获取所述运转状态；

第二工序，获取所述网络的通信速度；以及

第三工序，基于在所述第一工序中获取到的运转状态、在所述第二工序中获取到的所述通信速度以及所述数据的优先度来决定要发送的数据，

所述数据的优先度是按从所述光刻装置接收所述数据的各个目的以及所述光刻装置的各个运转状态而预先设定的。

10.一种计算机可读取的记录介质，存储有使计算机执行经由网络发送来自光刻装置的数据的数据处理方法的程序，所述计算机可读取的存储介质的特征在于，

所述数据处理方法具有：

第一工序，判断所述光刻装置的运转状态并获取所述运转状态；

第二工序，获取所述网络的通信速度；以及

第三工序，基于在所述第一工序中获取到的运转状态、在所述第二工序中获取到的所述通信速度以及所述数据的优先度来决定要发送的数据，

所述数据的优先度是按从所述光刻装置接收所述数据的各个目的以及所述光刻装置的各个运转状态而预先设定的。

11.一种数据处理系统，具备光刻装置和能够通信地与所述光刻装置连接的数据处理装置，经由网络发送来自所述光刻装置的数据，所述数据处理系统的特征在于，

所述数据处理装置具备：

判断部，其判断所述光刻装置的运转状态并获取所述运转状态；

获取部，其获取所述网络的通信速度；以及

决定部，其基于由所述判断部获取到的运转状态、由所述获取部获取到的所述通信速度以及所述数据的优先度来决定要发送的数据，

所述数据的优先度是按从所述光刻装置接收所述数据的各个目的以及所述光刻装置的各个运转状态而预先设定的。