[发明专利]数据处理装置、数据处理方法、记录介质及数据处理系统

说明书

本公开涉及数据处理装置、数据处理方法、记录介质及数据处理系统。课题在于提供在恰当的数据发送的方面有利的数据处理装置。数据处理装置，能够通信地与光刻装置连接，经由网络发送来自光刻装置的数据，该数据处理装置具备决定部，该决定部基于光刻装置的运转状态和从光刻装置接收数据的目的来决定发送数据。

技术领域

本发明涉及数据处理装置、数据处理方法、记录介质以及数据处理系统。

背景技术

以往，企业利用因特网等网络通信，从远程对作为本公司产品的装置提供支持服务(support service)。为了从远程支持多个装置，需要向支持服务实施地点发送支持所需的装置数据。支持所需的数据因支持的目的而不同，因此存在根据目的而应当优先发送的数据。

在日本特开2009-181269号公报的设备保养计划支援系统中，收集各个设备的过去的运行状况作为运行数据，基于将该设备运行时对环境的影响作为环境负荷性能而进行评估的结果，来提示应当保养的设备的优先顺序。日本特许第5915820号的通信控制装置生成以优先度从低到高的顺序将能够确定服务的信息排列而成的废弃列表，来控制通信数据的流量。据此，在连接通过通信网络而连接的多个地点之间的网络的通信品质下降时，能够稳定地保持服务的品质。

发明内容

技术问题

然而，在日本特开2009-181269号公报以及日本特许第5915820号的发明中，未考虑到支持的目的和当前的装置等的运转状态这双方，因此可能存在未发送支持所需的恰当的数据的情况。

本发明目的在于提供例如在发送恰当的数据方面有利的数据处理装置。

技术方案

本发明是能够通信地与光刻装置连接，并经由网络发送来自光刻装置的数据的数据处理装置，特征在于具备基于光刻装置的运转状态和从光刻装置接收数据的目的来决定发送数据的决定部。

通过以下参照附图对示例性实施例的描述，本发明的更多特征将变得清楚。

附图说明

图1是示出包含第1实施方式的数据处理装置的数据处理系统的概略结构的一个示例的图。

图2是示出由第1实施方式的判断部所掌握的各个装置的运转状态的基准表的一个示例的图。

图3A至图3D是示出第1实施方式的按目的的优先度基准表的一个示例的图。

图4是示出第1实施方式的基于通信速度的优先度基准表的一个示例的图。

图5A以及图5B是示出包含第1实施方式的优先度的全部发送数据列表的一个示例的图。

图6是示出第1实施方式的装置数据的发送处理的流程图。

图7A至图7C是示出第2实施方式的按目的的优先度基准表的一个示例的图。

图8A以及图8B是示出被示出有第2实施方式的优先度的全部发送数据列表的一个示例的图。

图9是示出示出了由第3实施方式的判断部所掌握的各个装置的运转状态以及错误(error)状态的基准表的一个示例的图。

图10A以及图10B是示出第3实施方式的按目的的优先度基准表的一个示例的图。

图11A以及图11B是示出被示出了第3实施方式的优先度的全部发送数据列表的一个示例的图。

具体实施方式

以下，参照附图等对实施本发明的方式进行说明。

(第一实施例)