[发明专利]掩模板温度控制装置和掩模曝光装置有效
申请号: | 201910409932.4 | 申请日: | 2019-05-16 |
公开(公告)号: | CN111948907B | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 张明辉;周剑锋;郑锋标;张帅 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模板 温度 控制 装置 曝光 | ||
1.一种掩模板温度控制装置,其特征在于,包括:气体温控单元、气体输送单元和掩模存放单元;
所述气体输送单元用于向所述掩模存放单元输送气浴气体,所述气体温控单元用于将所述气体输送单元传输至所述掩模存放单元的气浴气体的温度变化范围调节至预设温度范围;
其中,所述掩模存放单元包括版架主体和隔板,所述隔板固定在所述版架主体内,相邻两个所述隔板中间形成容纳空间,所述容纳空间用于放置掩模板;所述隔板为直板结构;
所述版架主体包括底面、顶面以及侧面;侧面为气浴气体吹入的面,气浴气体进入所述掩模存放单元后的流动方向平行于底面和顶面;
所述掩模存放单元只受到一个水平方向上的气浴气体;
所述气体温控单元包括热交换器,所述热交换器设置于所述气体输送单元的传输路径中;
所述热交换器用于将所述气体输送单元所传输的气体的温度稳定至第一温度阈值范围;
所述掩模 板温度控制装置,还包括温度传感器;所述温度传感器设置于所述气体输送单元中,且位于所述气体温控单元与所述气体输送单元的出气口之间;
所述热交换器为管壳式热交换器;
所述管壳式热交换器中流通有导热流体,所述导热流体的流向与所述气体在所述气体输送单元中的传输方向相反。
2.根据权利要求1所述的掩模板温度控制装置,其特征在于,所述掩模存放单元还包括掩模支撑件;
每个所述隔板的承载面分别设置多个所述掩模支撑件;
所述掩模支撑件用于支撑放置于所述容纳空间中的掩模板,以及用于固定所述隔板。
3.根据权利要求2所述的掩模板温度控制装置,其特征在于,所述掩模支撑件包括连接件和圆柱支撑体;所述版架主体包括辅助固定平台;
所述连接件的第一端与所述辅助固定平台固定连接,所述连接件的第二端与所述辅助固定平台的台面之间设置有固定间隙,所述固定间隙用于固定所述隔板;
所述圆柱支撑体的一端设置于所述连接件背离与其固定的辅助固定平台的一侧,所述圆柱支撑体的另一端用于支撑所述掩模板。
4.根据权利要求3所述的掩模板温度控制装置,其特征在于,所述隔板的边侧被所述固定间隙夹紧固定。
5.根据权利要求1所述的掩模板温度控制装置,其特征在于,所述预设温度阈值范围为22±0.05℃。
6.根据权利要求1所述的掩模板温度控制装置,其特征在于,还包括压力流量调节单元,所述压力流量调节单元设置于所述气体输送单元的进气口处;
所述压力流量调节单元用于将气体的压力调节至预设压力阈值,且将气体的流量调节至预设流量阈值。
7.根据权利要求6所述的掩模板温度控制装置,其特征在于:
所述预设压力阈值的范围为1.7Bar-5Bar;
所述预设流量阈值的范围为200NL/min-500NL/min。
8.根据权利要求6所述的掩模板温度控制装置,其特征在于,所述压力流量调节单元包括调压阀和节流阀;
所述调压阀用于调节气体的压力,所述节流阀用于调节气体的流量。
9.根据权利要求1所述的掩模板温度控制装置,其特征在于,所述气体输送单元包括气体传输管路和滤布;
所述气体传输管路的进气口为所述气体输送单元的进气口,所述气体传输管路的出气口为所述气体输送单元的出气口,所述气体传输管路的出气口与所述掩模存放单元连接,所述气浴气体的流动方向与所述隔板所在的平面平行;
所述滤布固定于所述气体传输管路的出气口。
10.根据权利要求9所述的掩模板温度控制装置,其特征在于,所述滤布的目数的取值范围为300目-500目。
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