[发明专利]掩膜装置

权利要求书

1.一种掩膜装置，其特征在于，包括：

框架结构；

至少一个掩膜板，与所述框架结构连接；

至少一个收缩片，所述收缩片连接所述掩膜板与所述框架结构，和/或所述收缩片连接相邻所述掩膜板；

其中，所述收缩片能够在收缩过程中向所述掩膜板施加拉力；且

所述收缩片包括取向层和粘接层，所述取向层通过所述粘接层与所述掩膜板或所述框架结构连接，所述取向层能够在预设温度下进行收缩以向所述掩膜板施加拉力。

2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，

所述框架结构包括框架主体及竖向遮挡片，所述竖向遮挡片在第一方向上延伸且其相对两端分别与所述框架主体连接；

所述掩膜板设置有多个，并在第二方向上间隔排布，各所述掩膜板与所述框架主体连接，

其中，在所述掩膜板的厚度方向上得到的投影中，相邻所述掩膜板之间的间隙投影位于所述竖向遮挡片的投影内，所述第一方向、所述第二方向及所述厚度方向之间两两相互垂直。

3.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，

所述掩膜板具有在所述厚度方向上相对设置的第一面和第二面，

所述掩膜板包括工作区和固定区，所述工作区在所述第一方向上的相对两侧分别设置有所述固定区；

其中，所述第一面上与所述固定区相对的部位与所述框架主体连接。

4.根据权利要求3所述的掩膜装置，其特征在于，

所述工作区包括多个在所述第一方向上间隔设置的开槽区及限定在相邻所述开槽区之间的蒸镀区；

其中，所述蒸镀区中设置有多个贯穿所述第一面和所述第二面的蒸镀孔，所述第二面上与所述开槽区相对的部位开设有安装槽，所述安装槽中安装有所述收缩片的端部。

5.根据权利要求4所述的掩膜装置，其特征在于，所述收缩片的厚度小于或等于所述安装槽的深度。

6.根据权利要求4所述的掩膜装置，其特征在于，所述安装槽在所述第二方向上贯穿所述第二面的相对两侧。

7.根据权利要求4所述的掩膜装置，其特征在于，

所述框架结构还包括横向遮挡片，所述横向遮挡片在所述第二方向上延伸且其相对两端分别与所述框架主体连接；

所述开槽区中设有多个贯穿所述安装槽的槽底和所述第一面的通孔，各所述通孔与所述蒸镀孔相同；

其中，在所述厚度方向上得到的投影中，所述安装槽的投影位于所述横向遮挡片的投影内。

8.根据权利要求4所述的掩膜装置，其特征在于，

所述收缩片设置有多个，多个所述收缩片包括第一收缩片和第二收缩片，所述第一收缩片的一端部安装于所述掩膜板的安装槽，另一端部连接所述框架主体；所述第二收缩片的一端部安装于所述掩膜板的安装槽，另一端部连接所述竖向遮挡片。

9.根据权利要求8所述的掩膜装置，其特征在于，所述竖向遮挡片位于所述框架主体内。

10.根据权利要求4所述的掩膜装置，其特征在于，

所述收缩片设置有多个，多个所述收缩片包括第一收缩片和第二收缩片，所述第一收缩片的一端部安装于所述掩膜板的安装槽，另一端部连接所述框架主体；所述第二收缩片的一端部安装于相邻所述掩膜板中一者的安装槽，另一端部安装于相邻所述掩膜板中另一者的安装槽。

11.根据权利要求3所述的掩膜装置，其特征在于，

所述收缩片设置在所述第一面背离所述第二面的一侧；

所述竖向遮挡片安装在所述框架主体背离所述掩膜板的一侧，所述竖向遮挡片上设置有装配开口，在所述厚度方向上得到的投影中，所述装配开口的投影与所述收缩片的投影重合。