[发明专利]一种磁控真空计校准判断方法

权利要求书

1.一种磁控真空计校准判断方法，其特征在于：按下述步骤进行：

a.将磁控真空计串入真空测试产品的真空度检测回路；

b.在磁控真空计上选择真空测试产品真空度检测用的测量曲线；所述的真空测试产品为真空灭弧室；

c.测量曲线选好后开始测量：按下磁控真空计的测量键以后，磁控真空计高压第一次向真空测试产品加高压，高压放电，收集级悬空，第一次电流采样结束；

d.磁控真空计磁控线圈电压充电到预设固定值，向磁控真空计输入标准电流，磁控真空计高压第二次向真空测试产品加高压，高压、磁控线圈同时放电，第二次电流采样结束；

e.电流采样结束后，磁控真空计做漏电流扣除运算，得出电流显示值；根据电流显示值即能判断所述的磁控真空计是否需要校准；

步骤e中，所述的根据电流显示值即能判断所述的磁控真空计是否需要校准的具体方法如下：将磁控真空计电流显示值和标准电流值做对比，分析电流误差，通过电离电流与真空度的对应关系，分析真空度测量误差，判断出该磁控真空计整个离子流放大器测量结果的准确性，从而确认该磁控真空计是否达到可使用的范围。

2.根据权利要求1所述的磁控真空计校准判断方法，其特征在于：步骤d中，标准电流的输入方法是：将标准信号源的标准电流输出端与磁控真空计的收集极连接，即可进行标准电流输入。

3.根据权利要求2所述的磁控真空计校准判断方法，其特征在于：所述的标准信号源的型号为DO30-E+型多功能校准仪。

4.根据权利要求1所述的磁控真空计校准判断方法，其特征在于：步骤d中，输入的标准电流的电流值为1μA、5μA、10μA、15μA、30μA、50μA、100μA、200μA、500μA、1000μA、1500μA、2000μA、2500μA和/或3000μA。

5.根据权利要求1所述的磁控真空计校准判断方法，其特征在于：步骤a中，在磁控真空计串入真空测试产品真空度检测回路前，先对被校准器仪高压部分进行校准前确认，具体如下：

首先，将标准电压表、高压表笔并入磁控真空计的高压输出端回路，再将被测仪器选择到高压检测状态，确认高压已达设计值；

其次，将标准电压表并接到被校准仪线圈电压充电端，将被测仪器选择到线圈电压检测状态，确认线圈电压已达设计值。

6.根据权利要求5所述的磁控真空计校准判断方法，其特征在于：所述的标准电压表的型号为安捷伦34410A数字多用表，所述的高压表笔为4万伏高压表笔。