[发明专利]一种磁控真空计校准判断方法

说明书

本发明公开了一种磁控真空计校准判断方法。按下述步骤进行：a.将被校准仪器串入真空测试产品真空度检测回路；b.在被校准仪器上选择真空测试产品真空度检测用的测量曲线；c.按下被校准仪器的测量键，被校准仪器高压第一次向真空测试产品加高压，高压放电，收集级悬空，第一次电流采样结束；d.被校准仪器磁控线圈电压充电到预设固定值，向被校准仪器输入标准电流，被校准仪器高压第二次向真空测试产品加高压，高压、磁控线圈同时放电，第二次电流采样结束；e.之后，被校准仪器做漏电流扣除运算，得出电流显示值；根据电流显示值即能判断被校准仪器是否需要校准。本发明能够判断磁控真空计的测量误差范围是否满足测量需求，且方法简单，易于实现。

技术领域

本发明涉及真空计设备检测领域，特别是一种磁控真空计校准判断方法。

背景技术

目前，行业内对真空测试产品(如真空灭弧室)的真空度值的测量通常采用VC系列磁控真空计来进行测量，而该磁控真空计从使用之初就没有一种很好地方法对其是否需要校准进行判断。而随着市场的越发规范，行业内对该设备的量值及准确度的要求越来越高，这就需要我们能够准确快速地判断出所使用的磁控真空计的测量误差范围是否满足相应的测量要求。因此研究出一种能判断磁控真空计测量误差的方法为目前所亟待解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种磁控真空计校准判断方法。本发明能够判断磁控真空计的测量误差范围是否满足测量需求，且方法简单，易于实现。

本发明的技术方案：一种磁控真空计校准判断方法，按下述步骤进行：

a.将被校准仪器串入真空测试产品的真空度检测回路；

b.在被校准仪器上选择真空测试产品真空度检测用的测量曲线；

c.测量曲线选好后开始测量：按下被校准仪器的测量键以后，被校准仪器高压第一次向真空测试产品加高压，高压放电，收集级悬空，第一次电流采样结束；

d.被校准仪器磁控线圈电压充电到预设固定值，向被校准仪器输入标准电流，被校准仪器高压第二次向真空测试产品加高压，高压、磁控线圈同时放电，第二次电流采样结束；

e.电流采样结束后，被校准仪器做漏电流扣除运算，得出电流显示值；根据电流显示值即能判断所述的被校准仪器是否需要校准。

前述的磁控真空计校准判断方法所述的步骤b中，所述的测量曲线采用被校准仪器中的00号测量曲线。

前述的磁控真空计校准判断方法所述的步骤d中，标准电流的输入方法是：将标准信号源的标准电流输出端与被校准仪器的收集极连接，即可进行标准电流输入。

前述的磁控真空计校准判断方法所述的所述的标准信号源的型号为DO30-E+型多功能校准仪。

前述的磁控真空计校准判断方法所述的步骤d中，输入的标准电流的电流值为1μA、5μA、10μA、15μA、30μA、50μA、100μA、200μA、500μA、1000μA、1500μA、2000μA、2500μA和/或3000μA。

前述的磁控真空计校准判断方法所述的步骤e中，所述的根据电流显示值即能判断所述的被校准仪器是否需要校准的具体方法如下：将被校准仪器电流显示值和标准电流值做对比，分析电流误差，通过电离电流与真空度的对应关系，分析真空度测量误差，判断出该被校准仪器整个离子流放大器测量结果的准确性，从而确认该被校准仪器是否达到可使用的范围。

前述的磁控真空计校准判断方法所述的步骤a中，在被校准仪器串入真空测试产品真空度检测回路前，先对被校准器仪高压部分进行校准前确认，具体如下：

首先，将标准电压表、高压表笔并入被校准仪器的高压输出端回路，再将被测仪器选择到高压检测状态，确认高压已达设计值；