[发明专利]一种用于晶圆承载盒的支撑架及其使用方法

权利要求书

1.一种用于晶圆承载盒的支撑架，其特征在于，包括上托架(51)、伸缩套管(52)和支撑套管(53)，所述上托架(51)包括井字架(512)，所述井字架(512)由矩形框及其四个拐角外壁均焊接两个垂直外壁的圆杆构成，所述井字架(512)的内部四个拐角处的底部焊接有托杆(513)，所述井字架(512)的矩形框四个拐角的底面均焊接有竖直设立的支撑螺杆(514)，所述支撑螺杆(514)的外壁套接有支撑套管(53)，所述支撑套管(53)由与支撑螺杆(514)旋合连接的螺母(531)及其底部连接的圆管(532)组成，所述支撑螺杆(514)的底部通过第二复位弹簧(55)弹性连接有与圆管(532)内壁滑动连接的活动块(56)，所述活动块(56)的底部嵌入安装活动连接的滚球(57)；

所述井字架(512)圆杆外壁滑动套接有伸缩套管(52)，所述伸缩套管(52)靠近井字架(512)圆杆的端部外壁旋合连接有紧固调节螺丝(522)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆承载盒的支撑架,其特征在于，所述活动块(56)的外径与圆管(532)的内径为过渡配合，所述圆管(532)的底部焊接有遮盖圆管(532)端口的圆环板，且圆环板的内径小于活动块(56)的外径。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆承载盒的支撑架,其特征在于，所述第二复位弹簧(55)的自然长度为圆管(532)深度的1.2倍，所述第二复位弹簧(55)正常压缩状态最小高度为圆管(532)深度的五分之一。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆承载盒的支撑架,其特征在于，所述伸缩套管(52)的内径与井字架(512)圆杆外径为过渡配合。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆承载盒的支撑架,其特征在于，所述伸缩套管(52)的外壁开设有L型滑槽(521)，所述井字架(512)圆杆端部外壁对应L型滑槽(521)所在位置处焊接有限位圆柱(511)，所述伸缩套管(52)的内部设置有与井字架(512)圆杆端部外壁弹性连接的第一复位弹簧(54)。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆承载盒的支撑架,其特征在于，所述限位圆柱(511)与L型滑槽(521)为配合构件，所述限位圆柱(511)的外径与L型滑槽(521)的内宽相同。

7.根据权利要求5所述的一种用于晶圆承载盒的支撑架,其特征在于，所述第一复位弹簧(54)的自然长度为伸缩套管(52)深度的1.2倍，所述第一复位弹簧(54)的正常压缩状态最小高度为伸缩套管(52)伸缩的五分之一。

8.一种用于晶圆承载盒的支撑架的使用方法,其特征在于，该装置的具体使用步骤为：

步骤一：根据支撑架在晶圆承载盒内的高度要求，通过扳手拧动螺母(531)带动支撑套管(53)在支撑螺杆(514)上下移动，直至满足指定高度要求；

步骤二：将井字架(512)圆杆端部套接的伸缩套管(52)沿着L型滑槽(521)移动并旋转锁紧；

步骤三：将支撑架放置在第二石英槽的底部固定，然后将处于锁紧状态的伸缩套管(52)解锁，使得上托架(51)利用第一复位弹簧(54)弹性连接的伸缩套管(52)与第二石英槽内壁挤压贴靠，同时在支撑套管(53)底部的滚球(57)作用下，将支撑架的位置改变；

步骤四：通过机械手臂将晶圆承载盒搬移至支撑架的上部，使得晶圆承载盒的底部与上托架(51)进行卡接，需要进行微调时，通过机械手臂将晶圆承载盒向上抬起至第二复位弹簧(55)将支撑架顶起，使得支撑套管(53)不与第二石英槽内底接触，且滚球(57)与第二石英槽内底接触，然后操控机械手臂带动晶圆承载盒移动，在移动的过程中，相应的伸缩套管(52)在第一复位弹簧(54)作用下，保证伸缩套管(52)端部始终与第二石英槽内壁贴靠，位置调整好后，撤去机械手臂，支撑套管(53)与第二石英槽内底接触，而滚球(57)收纳在支撑套管(53)内部。