[发明专利]毛刷的原点位置确定方法及清洗装置

权利要求书

1.一种毛刷的原点位置确定方法，其特征在于，包括：

在毛刷处于运转状态下调整所述毛刷与至少两个基板的测试表面之间的间距，直至所有所述基板均具有振动，其中，所述至少两个基板在所述毛刷的长度方向上彼此间隔设置，且每个所述基板的测试表面在同一个水平面上，所述毛刷在所述水平面上的投影和所有所述基板的测试表面均有重叠区域；

具体包括：在所述毛刷处于运转状态下逐渐减小所述毛刷与所述至少两个基板的测试表面之间的间距，直至所有所述基板首次均具有振动；

将所有所述基板振动时的所述毛刷的竖直方向位置确定为所述毛刷的原点位置。

2.根据权利要求1所述的毛刷的原点位置确定方法，其特征在于，所述毛刷具有至少两个，所述在毛刷处于运转状态下调整所述毛刷与至少两个基板的测试表面之间的间距，直至所有所述基板均具有振动，具体包括：

将除当前毛刷之外的其余的所述毛刷均与所述至少两个基板脱离接触；

在所述当前毛刷处于运转状态下调整所述当前毛刷与所述至少两个基板的测试表面之间的间距，直至所有所述基板均具有振动；

将所述当前毛刷的下一个毛刷作为新的当前毛刷，并重复上述调整毛刷与至少两个基板的测试表面之间的间距的步骤，直至所有所述毛刷均调整完毕。

3.根据权利要求2所述的毛刷的原点位置确定方法，其特征在于，在确定出所有的所述毛刷的原点位置之后，还包括：

将每个所述毛刷均设置在所述原点位置，并在每个所述毛刷均处于运转状态下检测所述基板的振动状态；

若所述至少两个基板中存在不振动的基板，则重新调整每个所述毛刷与至少两个基板的测试表面之间的间距，直至所有所述基板均具有振动。

4.根据权利要求1所述的毛刷的原点位置确定方法，其特征在于，所述将所有所述基板振动时的所述毛刷的竖直方向位置确定为所述毛刷的原点位置，具体包括：

将所述至少两个基板中，最后振动的所述基板振动时，所述毛刷的竖直方向位置确定为所述毛刷的原点位置。

5.根据权利要求1-4任一所述的毛刷的原点位置确定方法，其特征在于，所述基板的数量为六个。

6.一种清洗装置，其特征在于，包括：控制器、清洗腔室、毛刷、基板承载组件以及至少两个基板，所述毛刷和基板承载组件设置在所述清洗腔室内，所述毛刷竖直方向的高度可调，所述控制器与所述毛刷连接，所述至少两个基板设置在所述基板承载组件上，所述至少两个基板在所述毛刷的长度方向上彼此间隔设置，且每个所述基板的测试表面在同一个水平面上，所述毛刷在所述水平面上的投影和所有所述基板的测试表面均有重叠区域，所述控制器用于执行权利要求1-5任一项所述的原点位置确定方法，以确定所述毛刷的原点位置。

7.根据权利要求6所述的清洗装置，其特征在于，还包括用于检测所述至少两个基板的振动状态的振动传感器，所述控制器和所述振动传感器电连接。

8.根据权利要求6或7所述的清洗装置，其特征在于，所述毛刷具有至少两个，且其中一部分所述毛刷设置在所述基板承载组件上方，其中另一部分所述毛刷设置在所述基板承载组件下方。

9.根据权利要求6或7所述的清洗装置，其特征在于，在所述毛刷的两端还连接有用于检测所述毛刷的竖直方向位置的位置检测部件。