[发明专利]晶体管结构及其操作方法在审
申请号: | 201910417522.4 | 申请日: | 2019-05-20 |
公开(公告)号: | CN110212035A | 公开(公告)日: | 2019-09-06 |
发明(设计)人: | 陈信学;刘品妙;张哲嘉;陈亦伟 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 本征半导体层 遮蔽电极 源/漏极 基板 晶体管结构 遮蔽金属层 遮蔽图案 通道部 重叠通道 配置 | ||
本发明公开一种晶体管结构及其操作方法,其中该晶体管结构包括基板、本征半导体层、栅极、第一源/漏极、第二源/漏极以及遮蔽金属层。本征半导体层配置于基板上。本征半导体层包括通道部、第一过度部、第二过度部、第一接触部与第二接触部。栅极重叠本征半导体层的通道部。本征半导体层位于基板与栅极之间。第一源/漏极接触本征半导体层的第一接触部。第二源/漏极接触本征半导体层的第二接触部。遮蔽金属层配置于基板与本征半导体层之间。遮蔽金属层包括遮蔽图案、第一遮蔽电极与第二遮蔽电极。第一遮蔽电极与第二遮蔽电极分别重叠第一过度部与第二过度部。遮蔽图案重叠通道部。
技术领域
本发明涉及一种晶体管结构及其操作方法。
背景技术
降低液晶显示面板的驱动频率可以达到节能的效果。然而,液晶显示面板于低频操作时,容易因像素结构的漏电,使画面(frame)的亮度下降,而在更新成下一个画面时,亮度又会明显提升,进而产生画面闪烁(flicker)现象。
发明内容
本发明提供一种晶体管结构,性能佳。
本发明提供一种晶体管结构的操作方法,能使晶体管结构具有良好的性能表现。
本发明的一种晶体管结构包括基板、本征半导体层、栅极、第一源/漏极、第二源/漏极以及遮蔽金属层。本征半导体层配置于基板上。本征半导体层包括通道部、第一过度部、第二过度部、第一接触部与第二接触部。第一过度部连续的延伸于第一接触部与通道部之间。第二过度部连续的延伸于第二接触部与通道部之间。栅极重叠本征半导体层的通道部。本征半导体层位于基板与栅极之间。第一源/漏极接触本征半导体层的第一接触部。第二源/漏极接触本征半导体层的第二接触部。遮蔽金属层配置于基板与本征半导体层之间。遮蔽金属层包括遮蔽图案、第一遮蔽电极与第二遮蔽电极。第一遮蔽电极与第二遮蔽电极分别重叠第一过度部与第二过度部,而遮蔽图案重叠通道部。
本发明的一种晶体管结构的操作方法,包括:提供上述的晶体管结构;施加第一操作电压给晶体管结构的栅极;在施加第一操作电压给晶体管结构的栅极的期间,施加第二操作电压给晶体管结构的第一遮蔽电极与第二遮蔽电极。
基于上述,本发明实施例的晶体管结构及其操作方法中,第一遮蔽电极与第二遮蔽电极分别重叠第一过度部与第二过度部,而遮蔽图案重叠通道部。此外,本发明一实施例的晶体管结构的操作方法中,在施加第一操作电压给晶体管结构的栅极的期间,施加第二操作电压给晶体管结构的第一遮蔽电极与第二遮蔽电极。由此,改善晶体管结构的漏电现象,提升晶体管结构的性能。
为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂,下文特举实施例,并配合所附的附图作详细说明如下。
附图说明
图1是本发明一实施例的晶体管结构的剖面示意图;
图2A是本发明一实施例的晶体管结构的上视示意图;
图2B是本发明另一实施例的晶体管结构的上视示意图;
图3是本发明又一实施例的晶体管结构的剖面示意图;
图4A是本发明又一实施例的晶体管结构的上视示意图;
图4B是本发明再一实施例的晶体管结构的上视示意图;
图5是本发明另一实施例的晶体管结构的剖面示意图。
符号说明
10、20、30:晶体管结构
100:基板
110、210、310、110A、210A:遮蔽金属层
110L、210L、310L:距离
112、212、312、112A、212A:第一遮蔽电极
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