[发明专利]晶体管结构及其操作方法在审

专利信息
申请号: 201910417522.4 申请日: 2019-05-20
公开(公告)号: CN110212035A 公开(公告)日: 2019-09-06
发明(设计)人: 陈信学;刘品妙;张哲嘉;陈亦伟 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 本征半导体层 遮蔽电极 源/漏极 基板 晶体管结构 遮蔽金属层 遮蔽图案 通道部 重叠通道 配置
【说明书】:

发明公开一种晶体管结构及其操作方法,其中该晶体管结构包括基板、本征半导体层、栅极、第一源/漏极、第二源/漏极以及遮蔽金属层。本征半导体层配置于基板上。本征半导体层包括通道部、第一过度部、第二过度部、第一接触部与第二接触部。栅极重叠本征半导体层的通道部。本征半导体层位于基板与栅极之间。第一源/漏极接触本征半导体层的第一接触部。第二源/漏极接触本征半导体层的第二接触部。遮蔽金属层配置于基板与本征半导体层之间。遮蔽金属层包括遮蔽图案、第一遮蔽电极与第二遮蔽电极。第一遮蔽电极与第二遮蔽电极分别重叠第一过度部与第二过度部。遮蔽图案重叠通道部。

技术领域

本发明涉及一种晶体管结构及其操作方法。

背景技术

降低液晶显示面板的驱动频率可以达到节能的效果。然而,液晶显示面板于低频操作时,容易因像素结构的漏电,使画面(frame)的亮度下降,而在更新成下一个画面时,亮度又会明显提升,进而产生画面闪烁(flicker)现象。

发明内容

本发明提供一种晶体管结构,性能佳。

本发明提供一种晶体管结构的操作方法,能使晶体管结构具有良好的性能表现。

本发明的一种晶体管结构包括基板、本征半导体层、栅极、第一源/漏极、第二源/漏极以及遮蔽金属层。本征半导体层配置于基板上。本征半导体层包括通道部、第一过度部、第二过度部、第一接触部与第二接触部。第一过度部连续的延伸于第一接触部与通道部之间。第二过度部连续的延伸于第二接触部与通道部之间。栅极重叠本征半导体层的通道部。本征半导体层位于基板与栅极之间。第一源/漏极接触本征半导体层的第一接触部。第二源/漏极接触本征半导体层的第二接触部。遮蔽金属层配置于基板与本征半导体层之间。遮蔽金属层包括遮蔽图案、第一遮蔽电极与第二遮蔽电极。第一遮蔽电极与第二遮蔽电极分别重叠第一过度部与第二过度部,而遮蔽图案重叠通道部。

本发明的一种晶体管结构的操作方法,包括:提供上述的晶体管结构;施加第一操作电压给晶体管结构的栅极;在施加第一操作电压给晶体管结构的栅极的期间,施加第二操作电压给晶体管结构的第一遮蔽电极与第二遮蔽电极。

基于上述,本发明实施例的晶体管结构及其操作方法中,第一遮蔽电极与第二遮蔽电极分别重叠第一过度部与第二过度部,而遮蔽图案重叠通道部。此外,本发明一实施例的晶体管结构的操作方法中,在施加第一操作电压给晶体管结构的栅极的期间,施加第二操作电压给晶体管结构的第一遮蔽电极与第二遮蔽电极。由此,改善晶体管结构的漏电现象,提升晶体管结构的性能。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂,下文特举实施例,并配合所附的附图作详细说明如下。

附图说明

图1是本发明一实施例的晶体管结构的剖面示意图;

图2A是本发明一实施例的晶体管结构的上视示意图;

图2B是本发明另一实施例的晶体管结构的上视示意图;

图3是本发明又一实施例的晶体管结构的剖面示意图;

图4A是本发明又一实施例的晶体管结构的上视示意图;

图4B是本发明再一实施例的晶体管结构的上视示意图;

图5是本发明另一实施例的晶体管结构的剖面示意图。

符号说明

10、20、30:晶体管结构

100:基板

110、210、310、110A、210A:遮蔽金属层

110L、210L、310L:距离

112、212、312、112A、212A:第一遮蔽电极

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