[发明专利]正型感光性树脂组合物和由其制备的固化膜在审
申请号: | 201910417981.2 | 申请日: | 2019-05-17 |
公开(公告)号: | CN110554566A | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 李廷和;许槿;郑周永;金莲玉 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/008;G03F7/075 |
代理公司: | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 陈哲锋;胡嘉倩 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 正型感光性树脂组合物 固化膜 丙烯酸共聚物 图案 高对比度 高敏感性 半色调 酚羟基 全色调 显影剂 粘着性 制备 溶解 | ||
1.一种正型感光性树脂组合物,其包括:
(A)丙烯酸共聚物;
(B)硅氧烷共聚物;
(C)含有酚羟基的化合物;和
(D)1,2-二叠氮醌化合物。
2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,
其中当所述丙烯酸共聚物(A)在110℃下于2.38重量%氢氧化四甲基铵的水溶液中溶解90秒时,其具有400至1,300埃/秒的溶解速率。
3.根据权利要求2所述的正型感光性树脂组合物,
其中所述丙烯酸共聚物(A)具有500至50,000Da的重量平均分子量(Mw)。
4.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,
其中所述硅氧烷共聚物(B)包括衍生自由以下式1表示的硅烷化合物的结构单元:
[式1]
(R1)nSi(OR2)4-n
在以上式1中,
n为0至3的整数;
R1各自独立地为C1-12烷基、C2-10烯基、C6-15芳基、3至12元杂烷基、4至10元杂烯基或6至15元杂芳基;和
R2各自独立地为氢、C1-6烷基、C2-6酰基或C6-15芳基,
其中所述杂烷基、所述杂烯基和所述杂芳基各自独立地具有至少一个选自由O、N和S组成的群组的杂原子。
5.根据权利要求4所述的正型感光性树脂组合物,
其中所述硅氧烷共聚物(B)包括衍生自由以上式1表示的硅烷化合物的结构单元,其中n为0。
6.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,
其中所述丙烯酸共聚物(A)包括(a-1)衍生自烯系不饱和羧酸、烯系不饱和羧酸酐或其组合的结构单元;(a-2)衍生自含有环氧基的不饱和化合物的结构单元;和(a-3)衍生自不同于所述结构单元(a-1)和(a-2)的烯系不饱和化合物的结构单元。
7.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,
其包括基于固体含量以100重量份所述丙烯酸共聚物(A)计1至50重量份的量的所述含有酚羟基的化合物(C)。
8.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,
其中所述硅氧烷共聚物(B)基于固体含量以所述丙烯酸共聚物(A)和所述硅氧烷共聚物(B)的总重量计5至60重量%的量使用。
9.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,
其进一步包括环氧化合物。
10.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,
其进一步包括至少一种由以下式1表示的硅烷化合物:
[式1]
(R1)nSi(OR2)4-n
在以上式1中,
n为0至3的整数;
R1各自独立地为C1-12烷基、C2-10烯基、C6-15芳基、3至12元杂烷基、4至10元杂烯基或6至15元杂芳基;和
R2各自独立地为氢、C1-6烷基、C2-6酰基或C6-15芳基,
其中所述杂烷基、所述杂烯基和所述杂芳基各自独立地具有至少一个选自由O、N和S组成的群组的杂原子。
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