[发明专利]正型感光性树脂组合物和由其制备的固化膜

说明书

本发明涉及一种正型感光性树脂组合物和由其制备的固化膜。所述正型感光性树脂组合物包括对显影剂的溶解速率在特定范围内的丙烯酸共聚物、和含有酚羟基的化合物，以使得当形成固化膜时可获得高对比度和高敏感性图案。此外，当形成半色调以及全色调时，可进一步增强图案的粘着性。

技术领域

本发明涉及一种感光性树脂组合物和由其制备的固化膜。更特定地说，本发明涉及一种正型感光性树脂组合物，其具有高对比度且在高敏感性图案的形成和半色调区域中的粘着力方面极佳；和由其制备的固化膜，其待用于液晶显示器、有机EL显示器等。

背景技术

一般来说，透明的平坦化膜出于绝缘的目的形成于薄膜晶体管(TFT)衬底上以防止在液晶显示器或有机EL显示器中透明电极与数据线之间接触。经由在数据线附近置放透明的像素电极，可增加面板的孔隙比且可实现高亮度/对比度。为形成此类透明的平坦化膜，采用若干加工步骤以赋予特定图案轮廓，且由于需要较少加工步骤，故正型感光性树脂组合物广泛用于此方法中。

使用丙烯酸树脂作为原料的常规正型感光性组合物具有的问题是，由于其低对比度(或分辨率)，感光性特征劣化。缺点还在于与下衬底的化学键合微弱，从而导致粘着性不良，且膜保留率低。

另一方面，使用硅氧烷树脂作为原料的正型感光性组合物由于其高对比度特征而具有极佳敏感性和膜保留率。由于硅氧烷树脂中的硅烷醇基团可与下衬底的羟基形成化学键，故与丙烯酸树脂相比，其粘着性也极佳。

因此，已使用丙烯酸树脂和硅氧烷聚合物一起采用以增强其敏感性、键合和粘着性的正型感光性树脂组合物(参见日本专利第5，099，140号)。

同时，如果正型感光性树脂组合物包括某一量或更多的硅氧烷树脂，则在后续固化膜的工艺中，存在关于耐化学性的工艺可靠性的问题。因此，重要的是以特定量混合硅氧烷树脂和丙烯酸树脂。

然而，即使丙烯酸树脂和硅氧烷树脂一起使用，与粘着性相关的问题仍未解决。具体地说，当在半色调区域中形成图案时，不同于全色调，即使在非曝光区域中，半色调也会曝露于某一透射率，以使得在除曝光区域外的整个区域中发生溶解。另外，由于与全色调区域相比半色调区域具有相对小的厚度，故在此方面中图案与衬底的粘着性更成问题。

现有技术文献

专利文献

(专利文献1)日本专利第5，099，140号

发明内容

待解决的问题

因此，为解决以上提及的问题，本发明旨在提供一种感光性树脂组合物，其包括适当量的丙烯酸共聚物和硅氧烷共聚物，其中在显影时具有适当溶解速率的丙烯酸共聚物当形成半色调和全色调时进一步增强图案对衬底的敏感性和粘着性。

此外，一起使用含有酚羟基的化合物，其旨在通过增加与光活化的化合物的结合力而降低未曝光区域对显影剂的溶解速率。另一方面，其旨在进一步增加曝光区域的溶解速率，由此增强对比度和粘着性。

问题的解决方案

为实现以上目的，本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其包括(A)丙烯酸共聚物；(B)硅氧烷共聚物；(C)含有酚羟基的化合物；和(D)1，2-二叠氮醌化合物。

为实现另一目的，本发明提供一种由正型感光性树脂组合物制备的固化膜。

本发明的有利效果

本发明的正型感光性树脂组合物包括对显影剂的溶解速率在特定范围内的丙烯酸共聚物和含有酚羟基的化合物，以使得当形成固化膜时可获得高对比度和高敏感性图案。此外，当形成半色调以及全色调时，可进一步增强图案的粘着性。

附图说明