[发明专利]一种微影玻璃薄化的方法及其控制系统有效
| 申请号： | 201910418416.8 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN110231725B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 汪直超;蔡在秉;李彦泽;金明光;邓强;陈仲仁;李德全;何崇嘉;吴智坤;刘云 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;C03C15/00;G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 方法 及其 控制系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种微影玻璃薄化的方法，其特征在于，包括如下步骤：
S10，提供一玻璃基板；
S20，清洗：对玻璃基板进行清洗；
S30，涂胶：在所述玻璃基板上涂布一层光刻胶；
S40，预烘烤：将上述涂布完成的玻璃基板放入干燥箱中进行烘烤，使光刻胶溶剂部分挥发；
S50，曝光：将烘烤完成的玻璃基板放置在紫外灯下进行曝光；
S60，微影薄化：将所述玻璃基板放入氢氟酸溶液中浸泡，使所述玻璃基板进行减薄处理；
S70，显影：用碱性溶液对微影完成的玻璃基板进行清洗，去除未发生光聚合反应的感光材料；
S80，成盒工艺：将显影完成的彩膜基板与阵列基板进行贴合并灌注液晶。
2.根据权利要求1所述的一种微影玻璃薄化的方法，其特征在于，所述阵列基板的显影溶液为四甲基氢氧化铵，所述彩膜基板的显影溶液为氢氧化钾。
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