[发明专利]一种高纯度碳化硅制品的制备方法

权利要求书

1.一种高纯度碳化硅制品的制备方法，其特征在于，按质量分数计，其原料由50～70％的碳化硅粗粉、10～40％的碳化硅细粉、1～10％的水性有机硅树脂和1～5％的低聚硅烷组成，所述制备方法包括以下步骤：

步骤一、将碳化硅粗粉、碳化硅细粉、水性有机硅树脂和低聚硅烷加水在捏炼机中捏炼成含水量为7～15％的可塑泥料；

步骤二、将所述可塑泥料在真空挤出机中挤制为所需形状的湿坯，经干燥后得生坯；

步骤三、在惰性气体保护下，将生坯在真空烧结炉中升温至1500℃进行烧结反应，烧结时间为0.5～3h，得预烧结体；

步骤四、在惰性气体保护下，将所述预烧结体置于真空高温烧结炉中进行再次升温烧结，出炉后得高纯度碳化硅制品。

2.根据权利要求1所述的一种高纯度碳化硅制品的制备方法，其特征在于，所述碳化硅粗粉的粒径为30～100μm，所述碳化硅细粉的粒径为0.1～1μm。

3.根据权利要求1所述的一种高纯度碳化硅制品的制备方法，其特征在于，所述步骤三和所述步骤四中，惰性气体为氩气。

4.根据权利要求1所述的一种高纯度碳化硅制品的制备方法，其特征在于，所述步骤四中，真空高温烧结炉的温度为2100～2500℃，保温时间为20～50min。

5.根据权利要求1所述的一种高纯度碳化硅制品的制备方法，其特征在于，按质量分数计，所述高纯度碳化硅制品的原料由55％的碳化硅粗粉、35％的碳化硅细粉、7％的水性有机硅树脂和3％的低聚硅烷组成。

6.根据权利要求1所述的一种高纯度碳化硅制品的制备方法，其特征在于，所述水性有机硅树脂为聚烷基有机硅树脂、聚芳基有机硅树脂、聚烷基芳基有机硅树脂中的任意一种。

7.根据权利要求1所述的一种高纯度碳化硅制品的制备方法，其特征在于，所述低聚硅烷为三(三甲基硅基)硅烷、乙烯基三(三甲基硅氧基)硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、3-甲基丙烯酰氧丙基三(三甲基硅氧基)硅烷、甲基三甲氧基硅烷、苯基三(二甲基硅氧基)硅烷、1，3-二苯基四(二甲基硅氧基)二硅氧烷中的任意一种。