[发明专利]气帘控制系统

权利要求书

1.一种气帘控制系统，与晶圆传载装置连接，所述晶圆传载装置至少包括：承载单元，用以承载具有活动门的晶圆盒，所述承载单元配置有至少一排气口，所述排气口用以将流动于所述晶圆盒内的气体排出；以及门组件，用以开启/关闭所述晶圆盒的所述活动门，其特征在于，所述气帘控制系统包括：

吹净模块，设置于所述晶圆传载装置内，所述吹净模块包含:

气帘模块，设置于对应所述晶圆传载装置的所述门组件的上方，所述吹净模块向所述气帘模块提供气流；

净气管路，所述气流经由所述净气管路流向所述气帘模块；以及

质量流量控制器，透过所述净气管路与所述气帘模块连接；

湿度感测单元，用以侦测在所述晶圆盒内的所述气体的湿度值；以及

控制单元，接收由所述湿度感测单元侦测到的所述湿度值，将接收到的所述湿度值与预设值做比较，以控制所述质量流量控制器调节提供所述气帘模块的所述气流的流量，使所述晶圆盒内的所述气体的所述湿度值达到所述预设值以下。

2.如权利要求1所述的气帘控制系统，其特征在于，所述晶圆传载装置更包含排气管路与所述排气口连接，所述湿度感测单元设置在所述排气管路，并接近于所述排气口。

3.如权利要求1所述的气帘控制系统，其特征在于，所述吹净模块更包括净气开关组件及第一供气设备，所述净气开关组件及所述第一供气设备透过所述净气管路与所述气帘模块连接。

4.如权利要求3所述的气帘控制系统，其特征在于，所述净气开关组件至少包括与所述净气管路连接的副净气管路、及设置于所述副净气管路的电动开关。

5.如权利要求4所述的气帘控制系统，其特征在于，当所述控制单元控制所述电动开关开启时，所述副净气管路的两端相互连通，使得所述净气管路呈现连通的状态。

6.如权利要求1所述的气帘控制系统，其特征在于，当接收到的所述湿度值为所述预设值以下时，所述控制单元调降提供所述气帘模块的所述气流的所述流量。

7.如权利要求1所述的气帘控制系统，其特征在于，当接收到的所述湿度值高于所述预设值时，所述控制单元调升提供所述气帘模块的所述气流的所述流量。

8.如权利要求1或7所述的气帘控制系统，其特征在于，所述预设值为5％～10％的范围。

9.如权利要求1所述的气帘控制系统，其特征在于，所述气帘模块包括：

本体，具有进气孔，所述进气孔贯穿所述本体设置；以及

多个过滤板，固设于所述本体中，所述过滤板于所述本体中形成有封闭空间，所述进气孔与所述吹净模块的所述净气管路连通，提供所述气帘模块的所述气流通过所述净气管路及所述进气孔流入所述封闭空间；

每一所述过滤板具有多个气孔，提供所述气帘模块的所述气流透过所述气孔从所述本体的一侧向外排出。

10.如权利要求9所述的气帘控制系统，其特征在于，所述吹净模块更包括气体过滤单元，与所述净气管路连接，以过滤提供所述气帘模块的所述气流。