[发明专利]气帘控制系统

说明书

一种气帘控制系统与晶圆传载装置连接，晶圆传载装置至少包括门组件。气帘控制系统包括吹净模块、湿度感测单元、及控制单元。吹净模块包括：设置于对应晶圆传载装置的门组件的上方的气帘模块，吹净模块向气帘模块提供气流；净气管路，气流经由净气管路流向气帘模块；及透过净气管路与气帘模块连接的质量流量控制器。湿度感测单元用以侦测晶圆盒内气体的湿度值；控制单元接收由湿度感测单元侦测到的湿度值，将接收到的湿度值与预设值做比较，以控制质量流量控制器调节提供气帘模块的气流的流量。

技术领域

本发明涉及一种半导体技术领域的晶圆负载系统，特别是一种利用晶圆盒载运晶圆时，使用气帘模块吹净外部环境的系统。

背景技术

应用于晶圆生产设备中的气帘装置例如在中国台湾新型专利公告第M565395号具体公开了一种气帘装置，可简易安装于晶圆盒前方并形成气流墙，透过气流墙的吹净，外部环境的微粒、脏污等将不易进入晶圆盒，据以改善晶圆受到外部环境的污染。

所述专利提供控制模块控制晶圆盒打开时，除了同时控制充气模块对晶圆盒的内部进行充气，还同时控制气帘装置作动，以使气帘装置对晶圆盒的开口位置进行吹净。然而为了方便，气帘装置进行吹净所用的气流流量是固定的，无法调控，更无法监控晶圆盒内气体的湿度去调整气流流量。于使用过程中为了维持晶圆的最佳湿度状态，及避免微粒、脏污进入晶圆盒，长期需要消耗相当大量的气流，会有使用成本居高不下的问题。

发明内容

根据现有技术的缺点，本发明的主要目的在于提供一种气帘控制系统，用以改善过度消耗吹净所用的气流流量的问题。

根据上述目的，本发明提供一种气帘控制系统，与晶圆传载装置连接，晶圆传载装置至少包括：承载单元，用以承载具有活动门的晶圆盒，承载单元配置有至少一个排气口，排气口用以将流动晶圆盒内的气体排出；以及门组件，用以开启/关闭晶圆盒的活动门，其中气帘控制系统包括吹净模块、湿度感测单元及控制单元。

吹净模块设置于晶圆传载装置内，包括气帘模块、至少一个净气管路、及至少一个质量流量控制器，其中，气帘模块设置于对应晶圆传载装置的门组件的上方，吹净模块向气帘模块提供气流；气流经由至少一个净气管路流向气帘模块；质量流量控制器透过净气管路与气帘模块连接。湿度感测单元用以侦测晶圆盒内气体的湿度值；控制单元接收由湿度感测单元侦测到的湿度值，将接收到的湿度值与预设值做比较，以控制质量流量控制器调节提供气帘模块的气流的流量，使晶圆盒内的气体的湿度值达到预设值以下。

本发明的气帘控制系统的湿度感测单元设置在晶圆传载装置的排气管路，并接近于排气口，可以随时便于侦测到排气管路内气体的湿度值，经测试验证后，排气管路内气体的湿度值对吹净时间的变化类似于晶圆盒内气体的湿度值对吹净时间的变化，因此湿度感测单元所侦测到的结果可以代表晶圆盒内气体的湿度值。可以提升本发明的气帘控制系统控制向气帘模块提供气流的流量的控制便利性及操作简易性。

附图说明

图1A及图1B分别是根据本发明所述的技术，表示气帘控制系统与晶圆传载装置的配置示意图。

图2是根据本发明所述的技术，表示气帘控制系统与晶圆传载装置进行充气流程及吹净流程的方块示意图。

图3是根据本发明所述的技术，表示气帘控制系统中气帘模块的结构示意图。

图4是根据本发明所述的技术，表示气帘控制系统进行吹净流程的方块示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术特征及优点，能更为相关技术领域人员所了解，并得以实施本发明，在此配合所附的图式、具体阐明本发明的技术特征与实施方式，并列举较佳实施例加以说明。以下文中所对照的图式，为表达与本发明特征有关的示意，并未亦不需要依据实际情形完整绘制。而关于本案实施方式的说明中涉及本领域技术人员所熟知的技术内容，亦不再加以陈述。