[发明专利]探针卡检查晶片和探针卡检查系统

权利要求书

1.一种探针卡检查系统，包括：

基底晶片；和

第一探针卡检查芯片和第二探针卡检查芯片，在所述基底晶片上且彼此间隔开，

其中位于所述基底晶片上的所述第一探针卡检查芯片和所述第二探针卡检查芯片的每个被分成探针垂直高度检查区域、探针水平位置检查区域和接触检查区域，

其中所述第一探针卡检查芯片和第二探针卡检查芯片的每个包括：

第一焊盘阵列，在所述探针垂直高度检查区域上，所述第一焊盘阵列配置为用于检查要被检查的探针卡的第一交流(AC)探针和第二交流(AC)探针的垂直高度；和

第二焊盘阵列，在所述探针垂直高度检查区域上，所述第二焊盘阵列配置为用于检查要被检查的所述探针卡的第一VSS探针和第二VSS探针的垂直高度。

2.如权利要求1所述的探针卡检查系统，其中所述第一探针卡检查芯片和所述第二探针卡检查芯片彼此相同。

3.如权利要求1所述的探针卡检查系统，其中所述第一AC探针和所述第二AC探针以及所述第一VSS探针和所述第二VSS探针中的每个不包括开关元件。

4.如权利要求1所述的探针卡检查系统，其中所述第一焊盘阵列包括AC探针检查焊盘和第一读取焊盘，并且第一联接线图案将所述AC探针检查焊盘与所述第一读取焊盘连接，并且

所述第二焊盘阵列包括VSS探针检查焊盘和第二读取焊盘，并且第二联接线图案将所述VSS探针检查焊盘与所述第二读取焊盘连接。

5.如权利要求4所述的探针卡检查系统，其中所述第一联接线图案和所述第二联接线图案中的每个联接线图案仅连接到所述第一读取焊盘和所述第二读取焊盘中的一个读取焊盘。

6.如权利要求4所述的探针卡检查系统，其中所述第一联接线图案中的每个联接线图案仅连接到所述AC探针检查焊盘中的一个，并且

所述第二联接线图案中的每个联接线图案仅连接到所述VSS探针检查焊盘中的一个。

7.如权利要求4所述的探针卡检查系统，其中所述第一AC探针、第一VCC探针和所述第一VSS探针配置为通过采用所述第一探针卡检查芯片来检查，

所述第二AC探针、第二VCC探针和所述第二VSS探针配置为通过采用所述第二探针卡检查芯片来检查，并且

所述第一AC探针和所述第二AC探针彼此连接，并且所述第一VSS探针和所述第二VSS探针彼此连接。

8.如权利要求4所述的探针卡检查系统，其中要被检查的所述探针卡包括读取探针，所述读取探针配置为每个电连接到所述第一读取焊盘和所述第二读取焊盘中的读取焊盘。

9.如权利要求8所述的探针卡检查系统，其中作为所述读取探针中的一些的第一读取探针没有连接到其它的读取探针。

10.如权利要求8所述的探针卡检查系统，其中所述读取探针包括连接到开关元件的第二读取探针。

11.如权利要求10所述的探针卡检查系统，其中所述第二读取探针中的至少一些彼此连接。

12.如权利要求1所述的探针卡检查系统，还包括在所述探针垂直高度检查区域上的第三焊盘阵列，所述第三焊盘阵列配置为用于检查要被检查的所述探针卡的第一VCC探针和第二VCC探针的垂直高度。

13.如权利要求12所述的探针卡检查系统，其中所述第一VCC探针和所述第二VCC探针中的每个连接到开关元件。

14.如权利要求12所述的探针卡检查系统，其中所述第一VCC探针和所述第二VCC探针彼此连接。