[发明专利]真空泵在审
| 申请号： | 201910428273.9 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN110608178A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 真锅雅嗣;斎藤英文 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/063;F04D27/00 |
| 代理公司： | 11270 北京派特恩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 康艳青;姚开丽 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 润滑流体 蓄积 轴承 微小流量 真空泵 滚动轴承 毛细管结构 毛细管力 真空环境 泵转子 吸引管 流路 移动 支撑 | ||
1.一种真空泵，其特征在于，包括：
滚动轴承，支撑设有泵转子的旋转轴；
润滑流体蓄积部，蓄积向所述滚动轴承提供的润滑流体；
微机电系统元件，形成有将所述润滑流体蓄积部的润滑流体移送至所述滚动轴承的微小流量泵；及
毛细管结构的第一流路，利用毛细管力使所述润滑流体蓄积部的润滑流体移动至所述微小流量泵。
2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述微机电系统元件固定于所述滚动轴承的外轮的外周面，且
所述真空泵包括：第二流路，从所述滚动轴承的所述外轮的所述外周侧形成至内周侧，将从所述微小流量泵送出的润滑流体导引至所述外轮的所述内周侧。
3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述第二流路是从所述外轮的外周面向内周面贯穿的贯穿孔。
4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述微机电系统元件固定于保持所述滚动轴承的外轮的保持部的外周侧，且
所述真空泵包括：第二流路，从所述保持部的所述外周侧形成至所述外轮的内周侧，将从所述微小流量泵送出的润滑流体导引至所述外轮的所述内周侧。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的真空泵，其特征在于，所述真空泵具备检测所述滚动轴承的振动的振动传感器或检测所述滚动轴承的温度的温度传感器中的至少任一个，
且所述真空泵包括：控制部，基于所述振动传感器或所述温度传感器的检测结果来驱动控制所述微小流量泵，控制由所述微小流量泵所移送的润滑流体的量。
6.根据权利要求5所述的真空泵，其特征在于还包括：警报部，基于所述振动传感器或所述温度传感器的检测结果来输出所述滚动轴承的劣化信息。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的真空泵，其特征在于还包括：
流量传感器，检测由所述微小流量泵所移送的润滑流体的量；及
诊断部，基于所述流量传感器的检测结果来诊断所述润滑流体蓄积部的润滑流体的蓄积量。
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