[发明专利]真空泵

说明书

本发明提供一种能对在真空环境下高速旋转的滚动轴承稳定地提供适当量的润滑流体的真空泵。真空泵包括：轴承(8)，支撑设有泵转子(3)的轴(10)；润滑流体蓄积部(60)，蓄积向轴承(8)提供的润滑流体；MEMS元件(40)，形成有将润滑流体蓄积部(60)的润滑流体移送至轴承(8)的微小流量泵(401)；及作为毛细管结构的流路的吸引管(61)，利用毛细管力使润滑流体蓄积部(60)的润滑流体移动至微小流量泵(401)。

技术领域

本发明涉及一种真空泵。

背景技术

以前，利用滚动轴承来支撑转子的结构的真空泵已为人所知(例如参照专利文献1)。专利文献1所记载的真空泵是涡轮分子泵，且越是旋转叶片直径小的小型涡轮分子泵，越要求更高的旋转速度。对于用于这种高速旋转中的滚动轴承而言，最优的润滑剂提供量非常小。

以前，如专利文献1所记载的发明设为下述结构，即：在轴承的轴端侧安装具有圆锥面的锥体(cone)，从与锥体的圆锥面接触的具有柔软性的润滑剂流出部逐次少量地提供润滑剂。附着于圆锥面的润滑剂由于离心力而移动至锥体直径增加的轴承侧，流入轴承内。专利文献1所记载的发明中，利用具有柔软性的芯将润滑剂流路的出口堵塞而形成润滑剂流出部，利用泵向芯提供润滑剂，使所述芯与锥体的圆锥面接触。在芯内移送的润滑剂由于毛细管现象的作用而被送至锥体的圆锥面。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利第6162644号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，存在下述不良状况，即：由于芯相对于锥体的圆锥面的装配误差导致芯对圆锥面的接触状态变化，润滑剂的提供量视接触状态而变化。而且，也存在下述问题，即：由于与圆锥面接触而引起芯的磨耗等，由此所致的劣化导致润滑剂的提供变得不充分。

[解决问题的技术手段]

本发明的优选形态的真空泵包括：滚动轴承，支撑设有泵转子的旋转轴；润滑流体蓄积部，蓄积向所述滚动轴承提供的润滑流体；微机电系统元件，形成有将所述润滑流体蓄积部的润滑流体移送至所述滚动轴承的微小流量泵；及毛细管结构的第一流路，利用毛细管力使所述润滑流体蓄积部的润滑流体移动至所述微小流量泵。

更优选的形态中，所述微机电系统元件固定于所述滚动轴承的外轮的外周面，且所述真空泵包括：第二流路，从所述滚动轴承的所述外轮的所述外周侧形成至内周侧，将从所述微小流量泵送出的润滑流体导引至所述外轮的所述内周侧。

更优选的形态中，所述第二流路是从所述外轮的外周面向内周面贯穿的贯穿孔。

更优选的形态中，所述微机电系统元件固定于保持所述滚动轴承的外轮的保持部的外周侧，且所述真空泵包括：第二流路，从所述保持部的所述外周侧形成至所述外轮的内周侧，将从所述微小流量泵送出的润滑流体导引至所述外轮的所述内周侧。

更优选的形态中，所述真空泵具备检测所述滚动轴承的振动的振动传感器或检测所述滚动轴承的温度的温度传感器中的至少任一个，且所述真空泵包括：控制部，基于所述振动传感器或所述温度传感器的检测结果来驱动控制所述微小流量泵，控制由所述微小流量泵所移送的润滑流体的量。

更优选的形态中还包括：警报部，基于所述振动传感器或所述温度传感器的检测结果来输出所述滚动轴承的劣化信息。

更优选的形态中还包括：流量传感器，检测由所述微小流量泵所移送的润滑流体的量；及诊断部，基于所述流量传感器的检测结果来诊断所述润滑流体蓄积部的润滑流体的蓄积量。

[发明的效果]

根据本发明，能对在真空环境下高速旋转的滚动轴承稳定地提供适当量的润滑流体。

附图说明