[发明专利]基板收纳容器管理系统、装载端口、基板收纳容器管理方法

权利要求书

1.一种基板收纳容器管理系统，其特征在于，具备：

装载端口，其相对于基板收纳容器能够进行基板的出入处理，具有能够读取附加于上述基板收纳容器的个体识别用ID的ID读取机构和直接或者间接地检测上述基板收纳容器的状态的传感器；

关联机构，其将由上述ID读取机构读取出的上述个体识别用ID与由上述传感器检测出的传感器值相互关联起来；

数据库，其储备由上述关联机构关联了的数据；以及

数据处理部，其解析上述数据库内的上述数据，并输出每个上述个体识别用ID的上述基板收纳容器的状态。

2.根据权利要求1所述的基板收纳容器管理系统，其特征在于，

上述数据处理部具备：

计算机构，其根据由特定的上述传感器检测出的传感器值计算统计数据；

比较机构，其对与特定的上述个体识别用ID相关联的传感器值和由上述计算机构计算出的计算结果进行比较；以及

状态输出机构，其基于由上述比较机构比较出的结果来输出上述基板收纳容器的状态。

3.根据权利要求1或2所述的基板收纳容器管理系统，其特征在于，

上述装载端口具备多种上述传感器，

上述关联机构能够将上述个体识别用ID与由多种上述传感器检测出的多种上述传感器值相互关联起来。

4.根据权利要求1～3任一项中所述的基板收纳容器管理系统，其特征在于，

还具备动作调整部，该动作调整部基于上述数据处理部输出的每个上述个体识别用ID的上述基板收纳容器的状态，对上述装载端口的与上述基板收纳容器的处理相关的控制值进行调整。

5.根据权利要求1～3任一项中所述的基板收纳容器管理系统，其特征在于，

上述关联机构能够将上述个体识别用ID、与在上述基板收纳容器的处理时产生的错误相关的信息以及与对储存在上述基板收纳容器中的上述基板进行的处理相关的信息中的至少任一方的信息相互关联起来，

还具备动作调整部，该动作调整部基于储备在上述数据库中的每个上述个体识别用ID的上述至少任一方的信息，来调整上述装载端口的与上述基板收纳容器的处理相关的控制值。

6.根据权利要求1～5任一项中所述的基板收纳容器管理系统，其特征在于，

还具备能够与上述装载端口通信的上位系统，

在上述上位系统至少设有上述关联机构、上述数据库以及上述数据处理部。

7.根据权利要求1～6任一项中所述的基板收纳容器管理系统，其特征在于，

上述数据处理部具有学习机构，该学习机构根据上述装载端口的上述传感器的传感器值来学习上述基板收纳容器的状态。

8.一种装载端口，是权利要求1～7任一项中所述的基板收纳容器管理系统所包含的装载端口，其特征在于，具备：

上述ID读取机构，其能够读取附加于上述基板收纳容器的上述个体识别用ID；以及

上述传感器，其直接或者间接地检测上述基板收纳容器的状态。

9.一种基板收纳容器管理方法，其特征在于，具备以下步骤：

ID读取步骤，通过相对于基板收纳容器能够进行基板的出入处理的装载端口，读取附加于上述基板收纳容器的个体识别用ID；

检测步骤，利用设置在上述装载端口的传感器，直接或者间接地检测上述基板收纳容器的状态；

关联步骤，将在上述ID读取步骤中读取出的上述个体识别用ID与在上述检测步骤中检测出的传感器值相互关联起来；

数据库化步骤，将在上述关联步骤中关联起来的数据储备在数据库中；以及

数据处理步骤，解析上述数据库内的上述数据，并输出每个上述个体识别用ID的上述基板收纳容器的状态。