[发明专利]一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置

权利要求书

1.一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置，其特征在于：包括真空镀膜腔室，真空泵和多级过滤机构；所述多级过滤机构下部设置有过滤入口；所述多级过滤机构上部设置有过滤出口；所述过滤入口与真空镀膜腔室连通；所述过滤出口真空泵连通。

2.根据权利要求1所述的一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置，其特征在于：所述多级过滤机构包括过滤底座、过滤外筒、过滤内筒和过滤盖；所述过滤底座上设置有过滤外筒；所述过滤外筒内壁上设置有内檐；所述内檐位于过滤出口下方；所述过滤内筒设置在内檐上；所述过滤内筒上放置有过滤内桶固定架；所述过滤盖盖在过滤外筒上并压紧滤内桶固定架；所述过滤内筒中心竖直设置有中心轴；所述过滤内筒与中心轴之间设置多层过滤网；所述过滤盖的下部设置有驱动器；所述驱动器连接有凸轮，并驱动凸轮转动；所述凸轮边缘与中心轴接触。

3.根据权利要求2所述的一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置，其特征在于：所述过滤网为倾斜设置。

4.根据权利要求2所述的一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置，其特征在于：所述过滤网由下至上的目数增大；所述过滤网的目数为10目-60目。

5.根据权利要求2所述的一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置，其特征在于：所述过滤内筒的下部表面均匀设置有筛孔。

6.根据权利要求2所述的一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置，其特征在于：所述过滤内筒上端设置有提手。

7.根据权利要求2所述的一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置，其特征在于：所述过滤内筒的底部位于过滤入口上方。

8.根据权利要求2所述的一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置，其特征在于：所述过滤网至少设置有五层。

9.根据权利要求1所述的一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置，其特征在于：所述过滤入口和过滤出口位于多级过滤机构相对的两侧。