[发明专利]一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置

说明书

本发明公开了一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置，包括真空镀膜腔室，真空泵和多级过滤机构；所述多级过滤机构下部设置有过滤入口；所述多级过滤机构上部设置有过滤出口；所述过滤入口与真空镀膜腔室连通；所述过滤出口真空泵连通。本案经过不同目数的过滤网多级过滤后，解决多余钇原子大颗粒反应物进入真空泵问题；同时过滤网上方增加了凸轮机构和电机，将残留在过滤网上的粉尘脱落下来，延长过滤网使用寿命；有效保护真空泵，保证MOCVD中镀膜工艺的成品率和效率。

技术领域

本发明涉及真空镀膜工艺设备，尤其是涉及一种可以过滤钇源大颗粒反应物的MOCVD装置。

背景技术

在MOCVD中制备工艺上添加钇源，可以有效地制备出超导带材，来提高电流，目前带材是真空环境下通过真空镀膜工艺（称作MOCVD）中镀膜工艺钇源反应后，剩余成分被真空泵抽出腔体外，由于钇源和其他物质反应后有大量原子，直接抽入真空泵后，会聚集在真空泵的转子上，导致真空泵只能工作3个月，影响真空泵使用寿命。

发明内容

本发明目的是：提供了一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物功能，装卸方便快捷，工作效率高，实用寿命长的MOCVD装置。

本发明的技术方案是：一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置，包括真空镀膜腔室，真空泵和多级过滤机构；所述多级过滤机构下部设置有过滤入口；所述多级过滤机构上部设置有过滤出口；所述过滤入口与真空镀膜腔室连通；所述过滤出口真空泵连通。

优选的，所述多级过滤机构包括过滤底座、过滤外筒、过滤内筒和过滤盖；所述过滤底座上设置有过滤外筒；所述过滤外筒内壁上设置有内檐；所述内檐位于过滤出口下方；所述过滤内筒设置在内檐上；所述过滤内筒上放置有过滤内桶固定架；所述过滤盖盖在过滤外筒上并压紧滤内桶固定架；所述过滤内筒中心竖直设置有中心轴；所述过滤内筒与中心轴之间设置多层过滤网；所述过滤盖的下部设置有驱动器；所述驱动器连接有凸轮，并驱动凸轮转动；所述凸轮边缘与中心轴接触。

优选的，所述过滤网为倾斜设置。

优选的，所述过滤网由下至上的目数增大；所述过滤网的目数为10目-60目。

优选的，所述过滤内筒的下部表面均匀设置有筛孔。

优选的，所述过滤内筒上端设置有提手。

优选的，所述过滤内筒的底部位于过滤入口上方。

优选的，所述过滤网至少设置有五层。

优选的，所述过滤入口和过滤出口位于多级过滤机构相对的两侧。

本发明的优点是：

1、经过不同目数的过滤网多级过滤后，解决多余钇原子大颗粒反应物进入真空泵问题；

2、同时过滤网上方增加了凸轮机构和电机，将残留在过滤网上的粉尘脱落下来，延长过滤网使用寿命；

3、有效保护真空泵，保证MOCVD中镀膜工艺的成品率和效率。

附图说明

下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述：

图1一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置的主视结构示意图；

图2为图1中A-A面剖视结构示意图；

图3为图2中C处的放大图；

图4为图1中B-B面剖视结构示意图；