[发明专利]一种双层防漏的管与板的结合结构及晶圆清洗设备在审
| 申请号： | 201910439599.1 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN110206958A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 葛林海;丁高生;陈景韶;葛林新;李杰 | 申请（专利权）人： | 上海提牛机电设备有限公司 |
| 主分类号： | F16L47/28 | 分类号： | F16L47/28;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 周涛 |
| 地址： | 201405 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 内管 底板 排水段 结合结构 接头段 柔性段 外管 焊接 晶圆清洗设备 双层防漏 上表面 导水 泄漏 底板下部 光滑连接 内侧壁 外侧壁 下表面 底端 维修 外部 | ||
1.一种双层防漏的管与板的结合结构，其特征在于，所述结合结构包括：
底板（1）；
内管（2），所述内管（2）焊接在所述底板（1）上，所述内管（2）的上表面与所述底板（1）的上表面焊接，所述底板（1）的下表面与所述内管（2）的外侧壁焊接，所述内管（2）包括在上的排水段（21）和在下的柔性段（22），所述柔性段（22）与排水段（21）的内侧壁光滑连接，所述柔性段（22）的外径小于所述排水段（21）的外径；以及
外管（3），所述外管（3）固定在所述底板（1）下部且套设在所述内管（2）外部，所述外管（3）包括在上的接头段（31）和在下的导水段（32），所述导水段（32）的顶端与所述接头段（31）的底端连接，所述接头段（31）的内径大于所述排水段（21）的外径，所述导水段（32）的内径小于所述排水段（21）的外径且大于所述柔性段（22）的外径，所述接头段（31）的底部高度在所述柔性段（22）的顶端和底端两者高度之间。
2.根据权利要求1所述的双层防漏的管与板的结合结构，其特征在于，所述底板（1）、内管（2）、外管（3）以及焊接用料均为同一种材质。
3.根据权利要求2所述的双层防漏的管与板的结合结构，其特征在于，所述底板（1）、内管（2）、外管（3）以及焊接用料均为PVC。
4.根据权利要求1所述的双层防漏的管与板的结合结构，其特征在于，所述柔性段（22）的厚度小于3mm，所述外管（3）、内管（2）共轴，所述接头段（31）的内径比所述排水段（21）的外径大至少5mm。
5.根据权利要求1所述的双层防漏的管与板的结合结构，其特征在于，所述结合结构还包括：
套环（4），所述套环（4）套设在所述外管（3）外部，所述套环（4）的内径等于所述外管（3）的外径。
6.根据权利要求5所述的双层防漏的管与板的结合结构，其特征在于，所述套环（4）的上表面与所述底板（1）的下表面焊接，所述套环（4）的下表面与所述外管（3）的侧壁焊接。
7.根据权利要求1所述的双层防漏的管与板的结合结构，其特征在于，所述内管（2）与所述底板（1）的上表面采用填料焊接，焊接后以所述底板（1）的上表面为基准削平焊接部。
8.根据权利要求1所述的双层防漏的管与板的结合结构，其特征在于，所述外管（3）还包括弯曲段（33），所述弯曲段（33）连接在所述导水段（32）的下部。
9.根据权利要求8所述的双层防漏的管与板的结合结构，其特征在于，所述弯曲段（33）、导水段（32）和接头段（31）一体成型。
10.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一所述的双层防漏的管与板的结合结构。
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