[发明专利]一种圆形件的传送翻转载具

说明书

本发明公开了一种圆形件的传送翻转载具，所述载具包括：框架；第一夹持机构，所述第一夹持机构铰接在所述框架上，所述第一夹持机构包括两组能够沿着y轴相向或者反向运动的滑臂，所述滑臂上设置有与所述圆形件轮廓相匹配的凹槽；第一气缸，所述第一气缸的一端铰接在所述框架上，所述第一气缸的另一端铰接在所述第一夹持机构上，所述第一气缸伸长时，所述第一夹持机构平行于z轴，所述第一气缸缩短时，所述第一夹持机构平行于x轴；第二气缸，所述第二气缸平行于z轴设置，所述第二气缸的一端固定在所述框架上；以及第二夹持机构。本发明的有益效果为高精度地完成对圆形件的搬运，将圆形件从水平状态调整为竖直状态。

技术领域

本发明属于晶圆制造领域，具体涉及一种圆形件的传送翻转载具。

背景技术

光罩，在制作IC的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上。材质：石英玻璃、金属铬和感光胶，是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为：曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻。

晶圆的蚀刻需要对光罩高精度的定位，在光罩的放置、更换、搬运等过程中，均需要保持光罩的稳定性，从而保证定位的准确性。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明提供一种圆形件的传送翻转载具，本发明的部分实施例能够高精度地完成对圆形件的搬运，将圆形件从水平状态调整为竖直状态。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种圆形件的传送翻转载具，所述载具包括：框架；第一夹持机构，所述第一夹持机构铰接在所述框架上，所述第一夹持机构包括两组能够沿着y轴相向或者反向运动的滑臂，所述滑臂上设置有与所述圆形件轮廓相匹配的凹槽；第一气缸，所述第一气缸的一端铰接在所述框架上，所述第一气缸的另一端铰接在所述第一夹持机构上，所述第一气缸伸长时，所述第一夹持机构平行于z轴，所述第一气缸缩短时，所述第一夹持机构平行于x轴；第二气缸，所述第二气缸平行于z轴设置，所述第二气缸的一端固定在所述框架上，所述第二气缸的另一端固定连接有托举槽，所述托举槽能够自下方支撑所述圆形件；以及

第二夹持机构，所述第二夹持机构包括平行于z轴设置的两个夹持臂，所述夹持臂能够自左右两侧夹持住所述圆形件。

优选地，所述圆形件为光罩。

优选地，所述第二夹持机构能够平行于x轴运动，所述第二夹持机构能够平行于z轴运动。

优选地，所述第二夹持机构包括沿着y轴方向设置的固定杆，所述固定杆的下方固定连接所述夹持臂，每个所述夹持臂上设置有一个卡托，所述卡托之间的距离小于所述圆形件的直径。

优选地，所述固定杆和所述夹持臂之间连接有三角板。

优选地，所述第二气缸为双杆气缸，所述托举槽托举的所述圆形件的弧度大于30°且小于100°。

优选地，所述第一夹持机构还包括两组第三气缸、连接座，所述第三气缸沿着y轴方向设置，所述第三气缸的一端与所述滑臂连接，所述第三气缸的另一端与所述连接座连接，所述连接座铰接在所述框架上。

优选地，所述第一夹持机构还包括一条滑轨，所述滑轨沿着y轴方向固定在所述连接座上，所述滑臂滑动连接在所述滑轨上。

优选地，所述连接座包括延伸杆，所述延伸杆与所述第一气缸铰接。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：