[发明专利]一种衬底基板的吹干方法及设备在审
| 申请号： | 201910440917.6 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN110265345A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 朱雁;李思拥;曾一鑫 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 李健威 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吹干 衬底基板 载物 | ||
1.一种衬底基板的吹干方法，其特征在于，在对待吹干的衬底基板的表面进行吹干时，将待吹干的衬底基板固定在载物台上。
2.根据权利要求1所述的衬底基板的吹干方法，其特征在于，通过粘接方式将待吹干的衬底基板固定在载物台上。
3.根据权利要求1所述的衬底基板的吹干方法，其特征在于，通过吸附方式将待吹干的衬底基板固定在载物台上。
4.根据权利要求1所述的衬底基板的吹干方法，其特征在于，通过压合方式将待吹干的衬底基板固定在载物台上。
5.根据权利要求1-4中任一所述的衬底基板的吹干方法，其特征在于，通过吹气方式将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干。
6.一种衬底基板的吹干设备，其特征在于，包括：
载物台，用于承载待吹干的衬底基板；
固定机构，用于将待吹干的衬底基板固定在所述载物台上；
吹干机构，用于将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干。
7.根据权利要求6所述的衬底基板的吹干设备，其特征在于，所述固定机构包括设于所述载物台上的黏胶层，所述黏胶层的粘度可变；通过所述黏胶层将待吹干的衬底基板粘接固定在所述载物台上。
8.根据权利要求6所述的衬底基板的吹干设备，所述固定机构包括设于所述载物台上的若干吸盘，通过所述吸盘将待吹干的衬底基板吸附固定在所述载物台上。
9.根据权利要求6所述的衬底基板的吹干设备，其特征在于，所述固定机构包括可在所述载物台上方移动的若干压轮，通过所述压轮将待吹干的衬底基板压合固定在所述载物台上。
10.根据权利要求6-9中任一所述的衬底基板的吹干方法，其特征在于，所述吹气机构包括可在所述载物台上方移动的气刀，通过移动所述气刀将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
