[发明专利]一种衬底基板的吹干方法及设备

说明书

本发明公开了一种衬底基板的吹干方法及设备。该吹干方法在对待吹干的衬底基板的表面进行吹干时，将待吹干的衬底基板固定在载物台上。该吹干方法可在吹干衬底基板时，防止衬底基板被吹起。

技术领域

本发明涉及半导体或光电领域，尤其涉及一种衬底基板的吹干方法及设备。

背景技术

在半导体或光电领域中，电子器件的电路往往通过刻蚀工艺制作在衬底基板上。在制程中，衬底基板的表面上会留下刻蚀液、去离子水等液体，需要采用气刀将衬底基板的表面上液体吹干，这时，由于气刀和衬底基板之间的间隙很小，如果气刀角度、气压等参数不合适，就会将衬底基板吹起而被气刀划伤。

发明内容

为了解决上述现有技术的不足，本发明提供一种衬底基板的吹干方法及设备，可在吹干衬底基板时，防止衬底基板被吹起。

本发明所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现：

一种衬底基板的吹干方法，在对待吹干的衬底基板的表面进行吹干时，将待吹干的衬底基板固定在载物台上。

进一步地，通过粘接方式将待吹干的衬底基板固定在载物台上。

进一步地，通过吸附方式将待吹干的衬底基板固定在载物台上。

进一步地，通过压合方式将待吹干的衬底基板固定在载物台上。

进一步地，通过吹气方式将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干。

一种衬底基板的吹干设备，包括：

载物台，用于承载待吹干的衬底基板；

固定机构，用于将待吹干的衬底基板固定在所述载物台上；

吹干机构，用于将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干。

进一步地，所述固定机构包括设于所述载物台上的黏胶层，所述黏胶层的粘度可变；通过所述黏胶层将待吹干的衬底基板粘接固定在所述载物台上。

进一步地，所述固定机构包括设于所述载物台上的若干吸盘，通过所述吸盘将待吹干的衬底基板吸附固定在所述载物台上。

进一步地，所述固定机构包括可在所述载物台上方移动的若干压轮，通过所述压轮将待吹干的衬底基板压合固定在所述载物台上。

进一步地，所述吹气机构包括可在所述载物台上方移动的气刀，通过移动所述气刀将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干；所述压轮和气刀同步移动。

本发明具有如下有益效果：该吹干方法在对所述衬底基板进行吹气时，将所述衬底基板固定在所述载物台上，以防止所述衬底基板在吹干过程中被吹起。

附图说明

图1为本发明提供的衬底基板的吹气方法的步骤框图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行详细的说明。

实施例一

一种衬底基板的吹干方法，包括：

S101：将待吹干的衬底基板固定在载物台上；

在该步骤101中，通过粘接、吸附或压合中任一方式将待吹干的衬底基板固定在载物台上。

具体的，采用一固定机构来将待吹干的衬底基板固定在所述载物台上。

在一具体实施方式中，所述固定机构包括设于所述载物台上的黏胶层，所述黏胶层的粘度可变；通过所述黏胶层将待吹干的衬底基板固定在载物台上的步骤包括：

S1011a：将待吹干的衬底基板粘接在所述黏胶层上；