[发明专利]正型感光性组合物、薄膜晶体管及化合物

权利要求书

1.一种正型感光性组合物，其包含：

(G)具有下述式(X1)或式(X2)所示结构的化合物、

(H)具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构的化合物、以及

(D)光产酸剂，

2.根据权利要求1所述的正型感光性组合物，其中，

所述成分(H)为一个分子中包含SiH基的化合物，其具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构。

3.根据权利要求1或2所述的正型感光性组合物，其中，

在所述成分(H)中，在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构是进行了官能团保护的酚结构、或进行了官能团保护的羧酸结构。

4.根据权利要求3所述的正型感光性组合物，其中，

所述进行了官能团保护的酚结构为进行了官能团保护的双酚结构。

5.根据权利要求4所述的正型感光性组合物，其中，

所述进行了官能团保护的双酚结构是用三烷基甲硅烷基或丁氧基羰基进行了官能团保护的双酚结构。

6.根据权利要求3所述的正型感光性组合物，其中，

所述进行了官能团保护的羧酸结构为包含缩醛键的结构、或者包含羧酸叔酯键的结构。

7.根据权利要求6所述的正型感光性组合物，其中，

所述包含羧酸叔酯键的结构是用脂肪族环结构进行了保护的羧酸叔酯结构。

8.根据权利要求7所述的正型感光性组合物，其中，

所述脂肪族环结构为金刚烷结构。

9.根据权利要求1或2所述的正型感光性组合物，其中，

所述成分(H)具有双酚结构。

10.根据权利要求9所述的正型感光性组合物，其中，

所述双酚结构为双酚S结构或双酚F结构。

11.根据权利要求1、2、4～8及10中任一项所述的正型感光性组合物，其中，

所述(D)成分为碘鎓盐或锍盐。

12.根据权利要求1、2、4～8及10中任一项所述的正型感光性组合物，其还包含(I)碱可溶性成分。

13.根据权利要求12所述的正型感光性组合物，其中，

所述成分(I)为包含SiH基或烯基的化合物。

14.根据权利要求12所述的正型感光性组合物，其中，

所述成分(I)为包含下述式(X1)或式(X2)所示结构的化合物，

15.根据权利要求1、2、4～8、10、13及14中任一项所述的正型感光性组合物，其还包含化合物(J)，所述化合物(J)包含烯基、且不具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构。

16.根据权利要求1、2、4～8、10、13及14中任一项所述的正型感光性组合物，其还包含敏化剂(K)。

17.一种薄膜晶体管，其具备使权利要求1～16中任一项所述的正型感光性组合物固化而得到的薄膜作为栅极绝缘膜。

18.一种薄膜晶体管，其具备使权利要求1～16中任一项所述的正型感光性组合物固化而得到的薄膜作为钝化膜。