[发明专利]正型感光性组合物、薄膜晶体管及化合物

说明书

本发明提供一种图案形成性及固化物(薄膜)的电绝缘可靠性优异的正型感光性组合物，第一本发明的正型感光性组合物包含：(A)一个分子中包含烯基或SiH基的化合物，其具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构；(B)一个分子中包含SiH基或烯基的化合物；(C)硅氢化催化剂；及(D)光产酸剂。

本申请是申请日为2013年7月2日、申请号为201380035657.5、发明名称为“正型感光性组合物、薄膜晶体管及化合物”的申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种正型感光性组合物、薄膜晶体管及化合物

背景技术

正型感光性组合物被广泛用于制造显示器、半导体等，提出了并对有一种以丙烯酸树脂或苯酚树脂作为主要成分的正型抗蚀剂进行了商品化。

特别是作为用作永久抗蚀剂的正型感光性组合物，由于正型感光性组合物的固化物(薄膜)在图案形成后作为功能膜残留于装置内，因此，提出了一种正型感光性组合物，其以更具有耐久性的树脂即聚酰亚胺类聚合物(专利文献1)、硅类聚合物(专利文献2)等材料作为基体。

然而，在绝缘膜等中使用使这些正型感光性组合物固化而得到的薄膜时，绝缘性不充分，从而仍不能得到满足绝缘膜所要求的绝缘性的固化物即正型感光性组合物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-033772号公报

专利文献2：日本特开2011-022173号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明的目的在于，提供一种图案形成性及固化物(薄膜)的电绝缘可靠性优异的正型感光性组合物、以及作为绝缘膜具备使该正型感光性组合物固化而得到的薄膜的薄膜晶体管。

另外，本发明的目的在于，提供一种化合物，其可优选用于得到图案形成性及固化物(薄膜)的电绝缘可靠性优异的正型感光性组合物。

用于解决问题的技术方案

本发明人等进行了潜心研究，结果发现，可通过以下的构成实现上述课题，从而完成了本发明。

即，一种正型感光性组合物，其包含：

(A)一个分子中包含烯基或SiH基的化合物，其具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构；

(B)一个分子中包含SiH基或烯基的化合物；

(C)硅氢化催化剂；及

(D)光产酸剂。

在第一本发明的正型感光性组合物中，上述成分(B)优选为不具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构的化合物。

在第一本发明的正型感光性组合物中，上述成分(A)优选为一个分子中包含SiH基的化合物，其具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构，上述成分(B)为一个分子中包含烯基的化合物。

在第一本发明的正型感光性组合物中，上述成分(A)中，在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构是进行了官能团保护的酚结构、或进行了官能团保护的羧酸结构。

在第一本发明的正型感光性组合物中，上述进行了官能团保护的酚结构为进行了官能团保护的双酚结构，更优选用三烷基甲硅烷基或丁氧基羰基进行了官能团保护的双酚结构。

在第一本发明的正型感光性组合物中，上述成分(A)优选具有双酚结构，更优选具有双酚S结构或双酚F结构。

在第一本发明的正型感光性组合物中，上述进行了官能团保护的羧酸结构优选为包含缩醛键的结构、或者包含羧酸叔酯键的结构。