[发明专利]光刻方法

权利要求书

1.一种光刻方法，用于将待处理图形进行无掩模版的光刻，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

S1：将所述待处理图形进行K次拆分，形成K幅子图形，其中，在对所述待处理图形进行拆分前，还包括在所述待处理图形上设有对位图标，以使拆分后的每一所述子图形均具有相同位置的对位图标；

S2：预设分割宽度M，将所述K幅子图形中的每一子图形按照所述预设分割宽度M切割成n条子条带；

S3：将所述K幅子图形中形成的n条宽度M的所述子条带进行重组，形成n+K-1条新条带，所述重组过程包括：选取第K幅子图形的第y-(K-1)条的子条带、第K-1幅子图形的第y-(K-2)条子条带、第K-2幅子图形的第y-(K-3)条子条带，以此类推，完成第y条新条带所需子条带的选取，将所述第y条新条带所需子条带进行数据拼接获得所述第y条新条带，以此类推，获得数量为n+K-1的新条带，其中，y按照1到n+K-1依次取值，当选取的子条带的序列号小于1或者大于n时，选择空白条带拼接；

S4：光刻所述新条带，其中，每完成一条新条带光刻，步进一条所述子条带的宽度M，进行另一新条带光刻。

2.如权利要求1所述的光刻方法，其特征在于，在步骤S1中，还包括预设拆分方式，所述预设拆分方式为规律的拆分或随机的拆分。

3.如权利要求1所述的光刻方法，其特征在于，在步骤S2中，包括预设切割方式，所述切割方式包括竖直或横向或斜向，切割后，所述子条带的长度为所述子图形的原始长度。

4.如权利要求1所述的光刻方法，其特征在于，所述新条带的宽度为所述子条带的宽度M乘以K。

5.如权利要求1所述的光刻方法，其特征在于，实现所述光刻方法的设备包括具有运动平台的激光直写光刻机和数字微反射镜，在步骤S3中，完成所述重组后，将n+K-1条所述新条带上载至所述数字微反射镜的内存中形成图像。

6.如权利要求5所述的光刻方法，其特征在于，在步骤S4中，将所述激光直写光刻机运动平台的扫描运动与所述数字微反射镜的图像滚动同步匹配光刻，扫描光刻完一条新条带之后，所述运动平台移动所述子条带的宽度M的距离，进行下一条新条带的扫描光刻。

7.如权利要求5所述的光刻方法，其特征在于，所述新条带的宽度小于等于所述图像的像素宽度W。