[发明专利]一种真空玻璃抽气装置及方法

权利要求书

1.一种真空玻璃抽气方法，用于单真空室抽气，其特征在于，包括下列步骤：

1)真空玻璃通过真空室门进入到所述真空室后，关闭真空室门；

2)将第二抽气装置中的抽气帽下压在待封口真空玻璃的排气孔上，并实现气密封；

3)开启第二真空装置对所述待封口真空玻璃的内腔抽真空，当所述内腔压力降低到第一设定压力值时，开启第一抽气装置对所述真空室抽真空；

4)当真空室内的压力降低到第二设定压力值时，关闭第二抽气装置，分离抽气帽和排气孔；

5)第一抽气装置继续为所述真空室和待封口真空玻璃内腔抽真空，直至待封口真空玻璃内腔的压力达到最终目标值；

其中，在步骤3)-5)中所述内腔的气压始终小于所述真空室内气压。

2.根据权利要求1所述真空玻璃抽气方法，其特征在于，所述第一设定压力值的范围为50～10000Pa，所述第二设定压力值的范围为1～100Pa。

3.根据权利要求1所述真空玻璃抽气方法，其特征在于，所述第二抽气装置为多个。

4.根据权利要求1所述真空玻璃抽气方法，其特征在于，所述第二抽气装置根据同时在所述真空室内抽取真空的真空玻璃数量一一对应设置。

5.根据权利要求1所述真空玻璃抽气方法，其特征在于，最终目标值范围为1×10^-6Pa—1Pa。

6.一种真空玻璃抽气方法，用于连续真空室抽气，其特征在于，包括下列步骤：

1)真空玻璃通过真空室门进入到所述真空室后，关闭真空室门；

2)将第二抽气装置中的抽气帽下压在待封口真空玻璃的排气孔上，并实现气密封；

3)开启第二真空装置对所述待封口真空玻璃的内腔抽真空；当所述内腔压力降低到第一设定压力值时，开启第一抽气装置对所述真空室抽真空；

4)当真空室内的压力降低到第二设定压力值时，关闭第二抽气装置，

分离抽气帽和排气孔；

5)第一抽气装置继续为所述真空室和待封口真空玻璃内腔抽真空，直至待封口真空玻璃内腔的压力达到第三设定压力值；

6)待封口真空玻璃被依次输送至多个后续真空室，并在每个后续真空室内停留，在后续真空室继续逐渐对待封口真空玻璃抽真空操作，直至待封口真空玻璃内腔的压力达到最终目标值；

其中，在步骤3)-6)中所述内腔的气压始终小于所述真空室内气压。

7.根据权利要求6所述真空玻璃抽气方法，其特征在于，所述第二抽气装置为多个。

8.根据权利要求6所述真空玻璃抽气方法，其特征在于，所述第二抽气装置根据同时在所述真空室内抽取真空的真空玻璃数量一一对应设置。

9.根据权利要求6所述真空玻璃抽气方法，其特征在于，所述第一设定压力值的范围为50～10000Pa，所述第二设定压力值的范围为1～100Pa。

10.根据权利要求6所述真空玻璃抽气方法，其特征在于，最终目标值范围为1×10^-6Pa—1Pa。

11.根据权利要求6所述真空玻璃抽气方法，其特征在于，第三设定压力值范围为1-10Pa。